更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置
大型基板の処理にも対応。試料にダメージを与えず 高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置 【特徴】 ○最大φ300mmのシリコンウエハ、ガラスなどの基板（試料）にUV照射を行い 表面の有機物を除去し、濡れ性を向上させることが可能 ○基板（試料）ホルダーの上下、または取替えが容易なため 厚みのある基板（試料)を処理することが可能 ○オゾン発生型装置は、オゾンによる処理を併用することにより 高いクリーニング効果を得られる ○基板（試料）セット後の処理は自動運転が可能です ○卓上型ながら大型基板の処理が出来、表面改質やウエ ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適 ○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理 的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる ○有機汚染物質はガス化して排気される為 有機汚染物質の再付着が起こらない ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
100V電源ユーティリティだけでエキシマ洗浄表面改質の実験検証が可能です。
172nmを主波長としたエキシマ照射ユニットとスキャン用ステージ、オゾン分解装置を一体化し、100Vの電源のみで、簡単にかつ安全にエキシマ表面改質の実験が出来る装置です。 【特徴】 スキャン用ステージにより従来より大面積の処理が可能。 オゾン分解装置一体型で、排気設備などが不要。
環境の微生物汚染対策に！幼稚園・企業・老人ホームなど、様々な施設でご利用いただいております
『クリーンライザー CL-80W』は、場所や条件を選ばず紫外線照射+オゾン のダブル効果が期待できる紫外線自動回転照射装置です。 精密機器・電子機器など薬剤噴霧のできない場所にも対応可能。 全国2 500箇所の医療機関で既に使用されており、その他、 幼稚園・企業・老人ホームなど、様々な施設でもご利用 いただいております。 【特長】 ■紫外線照射+オゾンのダブル効果が期待できる ■精密機器・電子機器など薬剤噴霧のできない場所にも対応可能 ■254nmの紫外線(UVC)を安定発光 ■消臭効果のあるオゾンガスを発生 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
エキシマ光で効率よく表面洗浄、改質！
高光子エネルギー真空紫外光源のエキシマランプによって有機物洗浄、表面改質を低温で行うことができます。 フラットタイプは面自体が発光する高出力、高密度高分布モデルです。
高照度172nmエキシマランプ 管面照度150mW/cm²以上
【特徴】 ・高照度ＲＦ放電方式による高照度、高い均一性 ・照射面に電極や石英窓がない、ランプ管面直接照射 ・真空環境内でもエキシマランプの点灯可 ・独自のスリッドホルダにより、窒素使用量の大幅削減 ・ランプ毎に照度調整が可能 ・ランプ有効長：MAX G10サイズまで 【無電極照射ユニット・N2スリッドホルダー構造】 ランプ構造は照射面側に電極を持たない構造の為、光の遮りがなく、透過や反射損失もほとんどなく効率が高い。個々のランプホルダーよりランプ管壁に沿って窒素（CDA）を噴出。効率よくオゾンを生成し少量で均一に酸素濃度の制御が可能 【主な用途】 ・ガラス、フィルム、ウエハの洗浄表面改質 ・フィルム、ガラス、樹脂、金属等の貼り合わせ ・HDD洗浄、改質、潤滑油硬化 ・レジスト除去、アッシング ・チップ、フィルム、基板接合面洗浄 【装置導入事例】 ・G8サイズTFT基板成膜前洗浄装置 ・ロールtoロール洗浄装置 ・レジストアッシング装置
化繊・不織布といった基材などにも使用可能！基材表面の濡れ性改質にご使用ください
「コロナ処理装置」とはフィルムなどの基材表面をコロナ照射することにより 濡れ性の改質をするものです。 コロナ処理はUV照射装置と異なり、表面を傷つけずイオンによって 被膜させるため、さまざまな基材に適合することが可能。 インクや接着剤が油性から水溶性に変わりつつありますが、水溶性の場合、 コロナ処理（コロナ表面処理）を十分におこなうと表面改質され印刷や 接着ムラが起こりません。 【特長】 ■シングルバックプレートで支える片持式デザイン ■ほとんど全ての印刷機に合う取付方式 ■並列セラミック電極で効果あるコロナ照射 ■片面、両面、三面コロナ照射 ■アクセスし易く、ウェブ通し、クリーニングが容易 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生！
株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー 真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な 励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置 などに利用されています。 準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、 赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。 また、瞬時の点灯点滅ができ、この際エキシマランプにダメージを与えません。 その他、高効率洗浄により、コンベア搬送中の照射も可能です。 エキシマ照射装置は、特長の異なるフラットタイプも取り扱っておりますので、 用途に合わせてお選び下さい。 【特長】 ■準単色光 ■波長172nm ■瞬時点灯点滅 ■コンベア搬送中照射も可能 ■ランプ本数低減、付帯設備不要 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使いやすい100V電源仕様と排気ダクト無しでOKのオゾンレスランプを採用したUV照射装置
『SUV-400C』は、カラーチェッカーで展色用紙にベタ刷りしたUVインキに 紫外線を照射して、UVインキを硬化させる卓上型UV照射装置です。 速度可変コンベアで硬化時間を調整可能。ランプの点灯時間短縮で従前より 節電できます。 また、オゾンレスランプの使用により、排気ダクト工事が不要になります。 【特長】 ■コンパクトな卓上型 ■オゾンレスランプの使用で排気ダクト工事が不要(室内換気は必要) ■速度可変コンベアで硬化時間調整可能 ■ランプの点灯時間短縮で従前より節電できる ■UVランプ交換時期の目安となる動作時間カウンター付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低消費電力化、細かい照射のコントロール、長寿命化による運用コストの低減
固まるのが数秒と高速のため、製造ラインのボトルネックになりにくい。 電力消費が大きな熱乾燥処理が不要。 乾燥のための広い空間が不要。 ワークに対する熱ダメージが小さい。 固まる際に揮発性の有害物質が発生しない。
365nm，385nm，395nmの各波長に対応
高出力空冷タイプのUV-LED照射器です。 ・照度：8 000 mW/㎠～30 000 ・波長：365nm、385nm、395nm、405nmから波長を選択可能です。 ・照射窓サイズ：カスタマイズ可能です。 ・保証(年)：２年間 ・寿命 (時間)：５００００時間
UV印刷とは印刷と同時に紫外線を照射することによって、瞬間的にインクを硬化させる方法です。
UV印刷の場合は、紫外線を照射すると硬化する性質を持つインキを使うことで、印刷部分が即時に乾きます。その為、従来では印刷後にしばらく時間を必要としていたものが、すぐに加工に入ることができるため、納期短縮になります。
広い波長、混合波長があって、照射物が完全に硬化をできる
高出力空冷と水冷UV-LED照射器です。 ・照度：8 000 mW/㎠～35 000mW/㎠ ・波長：365nm、385nm、395nm、405nmから波長を選択可能です。 ・照射窓サイズ：カスタマイズ可能です。 ・保証(年)：２年間 ・寿命 (時間)：５００００時間
照射サイズ・冷却方式・照射距離など、ご要望に合わせてカスタマイズ可能
LEDによる紫外照射のメリット： 1.光の中に熱線(赤外線)を含まないため、熱に弱い媒体への近接照射が可能です。 2.LED照射器と電源だけでコンパクトにシステムを構築できます。 3.LEDは長寿命のため、ランプ置き換えのコストと交換作業時間の削減になり、管理工数も軽減することができます。 4.LEDはON/OFFの応答性が良いため、媒体に適した照射制御が可能です。
最高35Ｗ/ｃｍ2、高効率、小型軽量のUV LED照射器
高出力空冷と水冷UV-LED照射器です。 ・照度：8 000 mW/㎠～35 000mW/㎠ ・波長：365nm、385nm、395nm、405nmから波長を選択可能です。 ・照射窓サイズ：カスタマイズ可能です。 ・保証(年)：２年間 ・寿命 (時間)：５００００時間
