真空アニール装置
真空アニール装置
液晶ディスプレイの注入後の気泡や色ムラ等の不良を解消するための装置です。 注入前に加熱して真空引きすることにより、セル内部の水分や有機ガスを除去できるので、パネルの品質も向上させることが出来ます。内部ヒーターやファンの改良により、クリーン度の高い槽内環境を実現しました。 当社独自の技術により、真空加熱中の温度分布がよく、プロセス時間も短縮されます。
- 企業：株式会社協真エンジニアリング 本社
- 価格：応相談
アニール装置×株式会社協真エンジニアリング - 企業1社の製品一覧
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高圧アニール装置
高圧アニール装置
LCD用低温ポリシリコンTFT基板や半導体ウェハの素子特性を向上させ、均一化するための装置です。 従来は1300℃で熱酸化させていた工程を、この装置では水蒸気で加圧加熱することにより600℃以下の低温で同じ効果を得ることができます。
- 企業：株式会社協真エンジニアリング 本社
- 価格：応相談
