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最終更新日:2010年10月01日

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真空アニール装置

液晶ディスプレイの注入後の気泡や色ムラ等の不良を解消するための装置です。 注入前に加熱して真空引きすることにより、セル内部の水分や有機ガスを除去できるので、パネルの品質も向上させることが出来ます。内部ヒーターやファンの改良により、クリーン度の高い槽内環境を実現しました。 当社独自の技術により、真空加熱中の温度分布がよく、プロセス時間も短縮されます。

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真空アニール装置

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液晶ディスプレイの注入後の気泡や色ムラ等の不良を解消するための装置です。 注入前に加熱して真空引きすることにより、セル内部の水分や有機ガスを除去できるので、パネルの品質も向上させることが出来ます。内部ヒーターやファンの改良により、クリーン度の高い槽内環境を実現しました。 当社独自の技術により、真空加熱中の温度分布がよく、プロセス時間も短縮されます。

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用途/実績例

●LCD注入前の脱ガス処理 ●真空乾燥 ●セラミック部材の焼成

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高圧から真空・高温から低温・高湿から低湿等の環境要素を高度に組み合わせた制御技術を駆使し、開発から製造まで、ソフトウェアからハードウェアまでカバーする多様な人材のもとに、半導体環境試験装置・液晶ディスプレイの製造装置・含浸装置など数々の装置を生み出し世の中に貢献して参りました。 今後とも、ますます多様化・高度化していくテクノロジーに対応し「価値ある存在」であり続けることに誇りと情熱を持って、さらなる飛躍を目指してまいります。

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