【修正キャリア(パッドドレッサー)】に潜む危険とは
研磨PADの修正に当たり前のように使っているDP付修正キャリアですが、実はおおきなデメリットもあります。それが何かわかりますか?
研磨の基本は研磨PADの精度管理が重要ですが、その精度を維持するためによく使われているのがDP付修正キャリアですね。 修正キャリアを使うことで精度修正の他にパッドの洗浄効果など重要な役割がありますが、状況によっては研磨するうえで大変危険なデメリットもあるんです。 1.サビ(錆) 2.上面側の研磨速度が遅い 3.設置に二人がかり(または機械で設置が必要) この3つのうち「上下面の研磨速度が違う」と「設置の問題」に共通する要因に「重さ」があります。 設置で考えれば、軽いと設備が大きくても作業性や安全性の向上に繋がるのは簡単に想像できますね。 一方、上下の研磨速度と重さの関連性とはなんでしょうか? 研磨はg単位で条件設定します。そのため修正キャリアの重さがドレス、ツルーイング時に悪影響を与えることもあります。 重ければ重いほど下面に掛かる圧力が増大し、上下のPADの表面状態に変化が生まれます。 できる限り同じ状態にするには修正キャリアは軽いほうがいいのは間違いありません。 そんなデメリットを打ち消す、超軽量修正キャリアを無償で試してみませんか?
- 企業:八千代マイクロサイエンス 株式会社
- 価格:応相談