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非回転構造で優れた制御性能！当社が取り扱う二次圧変動型気体用フローコントローラをご紹介
『MODEL 2412D SERIES』は、出口側(二次側)圧力変動に対して 一定流量を保持できる製品です。 非回転構造で優れた制御性能を有しており、最高使用圧力は 0.8MPa(G)となっています。 調節ネジ回転数は約12回転。また、最高使用温度は60℃です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 20℃)：10mL/min～20L/min ■制御精度：負荷圧力変動に対し1%指示値以内の変動(入口・出口差圧0.05MPa以上) ■調節ネジ回転数：約12回転 ■最高使用圧力：0.8MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非回転構造！優れた制御性能の一次圧変動型気体用フローコントローラ
『MODEL 2204 SERIES』は、N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体が 対象流体の製品です。 非回転構造で優れた制御性能を有しており、入口側(一次側)圧力変動に 対して一定流量の保持が可能。 また、最大流量(Air 20℃)は10mL/min～10L/minで、最高使用圧力は 0.8MPa(G)となっています。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 20℃)：10mL/min～10L/min ■制御精度：入口圧力0.07～0.8MPaの間、0.3MPaの変化に於いて、 流量変動値±2%指示値以内 ■調節ネジ回転数：約12回転 ■最高使用圧力：0.8MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
使用温度は15～35℃！圧力変動に対して一定流量を保持できる液体用フローコントローラ
『MODEL 2600-S SERIES』は、微少流量から制御できる製品です。 対象流体はH2Oで、圧力変動に対して一定流量の保持が可能。 また、流量定格は1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、 0.1～1L/minとなっています。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：H2O ■流量定格：1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、0.1～1L/min ■制御精度：±3%F.S.以内(液温一定であること) ■動作差圧：0.1MPa以上 ■使用圧：0.1～0.5MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
微少流量から制御可能！当社が取り扱う液体用フローコントローラをご紹介
『MODEL 2600-PPS SERIES』は、圧力変動に対して一定流量を 保持できる製品です。 接流体部材質はPPS(ガラス30%入り)、SUS316、FKM、FFKM、 PTFEとなっており、使用温度は15～50℃。 また、使用圧は0.1～0.5MPa(G)で、微少流量から制御できます。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体：H2O ■流量定格：1～10mL/min、10～100mL/min、50～500mL/min、0.1～1L/min ■制御精度：±3%F.S.以内(液温一定であること) ■動作差圧：0.1MPa以上 ■使用圧：0.1～0.5MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！ N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。
当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を有し、 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（MODEL 8700 SERIES） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFC！EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
『MODEL ST-500 SERIES』は、PI機能(Pressure Insensitive 圧力鈍感性)を 備えたマスフローコントローラです。 流量センサ前段に圧力センサを搭載しており、そこで捉えた圧力変動を 変動前の圧力と比較しリアルタイムでバルブ開度に補正をかけることで、 圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能。 半導体製造装置など、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに 適しております。 【特長】 ■圧力変動に対し安定した流量制御が可能(ST-500のみ) ■DeviceNet、EtherCAT、RS485(ST-550のみ)通信対応 ■IGS Wシール継手対応 ■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ■専用アプリによるマルチレンジ機能(30～100％F.S.) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
