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燃料電池や容器(チャンバー)内の排気側圧力を制御するコントローラです。
排気圧力コントローラ AP310-RVは、燃料電池や容器(チャンバー)内の排気側圧力を制御するコントローラです。 100～500kPa absの広範囲の圧力制御に最適です。調圧器内のドーム圧力(ダイヤフラム室)圧力を空圧で制御するため、構造もシンプルで小型化が実現しました。また、微小圧力制御用排気圧力コントローラ AP300は、常圧用プロセス装置の排気圧力を制御するコントローラです。微差圧センサを内蔵しており任意に設定された圧力値になるよう自動で制御しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
独自の空圧制御システムの採用により高精度で大流量の流体圧力を自動調整
圧力変動を極小にした、ダイヤフラム・ドーム構造。独自の空圧制御システムの採用により高精度で大流量の流体圧力を自動調整。自動圧力コントローラ AP200シリーズは、2次側に設置される圧力センサーの信号を受け、任意の設定圧力に自動で調圧する機器です。本機器ではUHPガス、腐食性ガスに対応出来るようバルブはスプリングレスの構造になってます。手動の圧力調整器のように流量が変化することによる圧力変動が生じませんので、安定した圧力制御が可能になります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
排気ダクトの総流量・圧力管理により、大幅なエネルギーコストの削減が可能
本排気圧力コントローラは、枚葉式洗浄装置を始めとした排気ダクトラインの圧力変動による製造プロセスのユラギを防ぐための機器です。独自に開発した空圧駆動ゴム膨張バルブにより、小型かつ極低圧損で高速での圧力制御を可能にしました。排気圧力を適切に制御することで、排気流量も適正に管理されるため、排気ダクトの総流量・圧力管理により、大幅なエネルギーコストの削減が可能になります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
AP160Mは、低真空から高真空まで真空プロセス装置に最適です
AP160Mは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置は、特に半導体に使われるようなクリーンガスに対応できるよう、圧力センサや、接ガス部はオールメタルでできております。CV150シリーズは、比例式ソレノイドバルブの開度をアナログ的に制御することによって、目的配管内の圧力を制御するものです。本装置には、圧力センサは内蔵されておらず、外付けの圧力センサや流量センサを使うことでセンサ内蔵型とは、異なったファンクションを実現できます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能
層流差圧式質量流量コントローラ AFC/AFMシリーズは、ガスが小型層流素子を流れるときに発生するガスの圧力差を測定し、温度・圧力補正を行い、質量流量を計測制御します。小型層流素子の採用により、小型化が実現しました。流量素子の適切な選定により、微少流量から大流量まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
流体管路に生ずる微差圧を測定することにより質量流量計測・制御が実現
差圧式大流量流量コントローラ DPFC/DPFMシリーズは、流体の下流側に圧力検出穴を設置し流量管内との差圧により流量を測定します。微差圧計の開発により幅広い流量域と高度な測定を実現できました。乱流での差圧測定を行っており、流路径が小さく且つ流路長が短くてすみます。流量計は極低圧損で微差圧計測により、ほとんど配管抵抗と同等高速応答が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
