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高い追従性0.1μm±20nmを実現！サブミクロンでのステップを綺麗に刻みます
『RSTアライナー』は、駆動ユニットをバランスの取れた正三角形に 配置した超高精度アライメントステージです。 この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にしました。 制御に必要な計算式は無償提供いたします。 モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、 感度良く追従します。 【特長】 ■バランスの取れた正三角形配置 ■専用設計の駆動ユニット ■大口径透過穴 ■テーブルサイズ自在 ■Z機構の追加可能 ■カスタム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上！高精度チルトアライメントに好適な□100mmサイズ登場！
『ボールネジ駆動スイベルステージ』は、より高分解能での制御が 可能な製品です。 重量が2.8Kg→2.0Kgと28%減少し、ボールネジ駆動で耐久性が大幅に向上。 ウェハーのアライメント等に適しており、ワークの上下に自由な 空間が生まれ、設計の自由度が高まります。 【特長】 ■より高分解能での制御が可能 ■重量が28%Down、2.8Kg→2.0Kg ■ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低価格とサブミクロンの送り精度を両立した位置決めステージ。高耐荷重で活用の幅も広がります
神津精機の自動X・XYステージ『SXAシリーズ』は先駆的な製造分野で高いコストパフォーマンスを実現いたします。 【こんなことでお困りではありませんか？】 ■生産ラインでたくさん使うので、出来るだけコストを抑えたい ■クライアントの希望納期が流動的だから、出来るだけ短期間で調達したい ■高い剛性と高い精度、ストロークが長い自動Xステージが欲しい ■クリーンルームで使いたい 【特長】 ■部品の共通化×量産により、25%～40%の低価格を実現（当社比） ■98 000円（税別）～の4機種をラインアップ！ ■高剛性ボールネジ＋専用クロスローラーガイド採用 ■高耐荷重・モーメント剛性共に当社従来比2倍以上！ 【高い汎用性とハイパフォーマンスを両立】 【1】高精度＝要求ニーズ＋KOHZU品質 【2】低価格＝部品共通化＋工程管理でコスト抑制 ※改造対応はモーター交換が可能です。 ※自動XYステージ『SYAシリーズ』もご用意しています
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
用途に適した位置決めステージを選定！単軸組合せや高剛性のYRAシリーズ、超高精度のRSTAシリーズなどをご紹介
製造過程において、製品の精度や品質を向上させるために正確な位置決めは重要です。 その中でも、アライメントステージには、標準的な位置決めステージに要求される精度はもちろんのこと、 追従性、位置安定性などが非常に重要な項目となってきます。 そのため、アライメント時に要求される精度、位置決め時間などに応じて好適なステージを選定する必要があります。 神津精機では、用途に合わせた様々なアライメントステージをご用意しております。 高精度、高剛性を両立させたガイド機構を採用した「YRAシリーズ」や 駆動ユニットを均等に配置することにより0.1μmピッチでの高い 追従性を実現する「RSTAシリーズ」を掲載。 【YRAシリーズ】 ■高精度、高剛性を両立させたガイド機構 ■薄型・軽量・小型を実現 ■高精度研削ボールねじを採用 ■制御の容易なステッピングモーターを採用 また、アライメントステージに関するガイドブックをご用意いたしました。 選定にあたって、ぜひご参考にしていただけますと幸いです。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
お客様の多様なニーズにお答え！様々な回転ステージのラインアップをご用意
科学実験ならびに研究開発において高精度な角度制御が不可欠です。 当社では高精度な角度制御に関するお客様の多様なニーズに応えるべく、 様々な回転ステージをラインアップしております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■高荷重に耐えられる回転ステージ ■回転芯がぶれない回転ステージ ■微小領域での超高精度位置決めに特化した回転ステージ ■2つの回転軸が同軸に配置されたステージ 等々 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
300種類を超える多彩なラインアップ！様々な組み合わせが可能です
『モンブランシリーズ』は、当社の長年にわたるカスタムオーダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■手動XYステージ ■ゴシックアークステージ ■手動Zステージ ■自動Xステージ ■自動スイベルステージ ■手動スイベルステージ ■精密ポジショナー ■自動回転ステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
構造がシンプルで、価格を抑えた仕様！ボールネジを採用しているので耐久性に優れています
当社で取り扱う、自動Zステージ『ZA07A-V201』をご紹介いたします。 ボールネジを採用しているので耐久性に優れ、高速移動が可能。 構造がシンプルで、価格を抑えた仕様になっております。 また、テーブルの大きさ口70mmサイズの製品として、高剛性を有する 「ZA07A-V1F01」や低床の「ZA07A-W2C02」などをご用意しています。 【仕様（一部）】 ■テーブルサイズ：70mm ■ステージ高さ：max102.5mm ■案内方式：クロスローラ ■移動範囲：CW 4mm、CCW 10mm ■分解能：0.25μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高精度アライメントに好適な精度を実現！搭載装置全体の省スペース化に貢献します！
『RA05A-T01』は薄型化（22mm）により、搭載装置全体の省スペース化に 貢献するタンジェントバー式小型自動回転ステージです。 高精度アライメントに好適な精度と、タンジェントバー方式により高い 分解能を（0.002°）実現。 また、高精度ボールネジを採用しているため、耐久性に優れています。 【特長】 ■薄型化（22mm）により、搭載装置全体の省スペースに貢献 ■高精度ボールネジを採用しているため、耐久性に優れている ■タンジェントバー方式により、高い分解能を（0.002°）実現 ■高精度アライメントに好適な精度を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
お客様のニーズに応える多種多様な機構・サイズ・ストロークをラインアップ。改造や特注にも対応致します。
半導体製造装置等様々な生産現場で活躍する神津精機の精密位置決めステージの中からＺステージを特集。 直立型Ｚステージや３タイプの水平面Ｚステージをご紹介。 それぞれにテーブルサイズと型式、他にもＺステージの選定に必要なストローク、全高、耐荷重を記載。また、実力値の例も記載しております。 カスタム事例も掲載しております。 選定の一助になる資料となっております。 Ｚステージの実力値も公開中。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
