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超精密位置決めステージ、真空ステージ、産業用システム製品などをラインアップ！
当カタログは、神津精機株式会社で取り扱う産業用装置や実験研究用装置の 製品カタログです。 小型6軸マニピュレータ「MPSシリーズ」をはじめ、表面形状測定システム 「Dyvoceシリーズ」や放射光施設用装置など多数掲載。 製品の選定にぜひご活用ください。 【掲載製品】 ■システム製品/産業用 ■システム製品/実験研究ソリューション ■位置決めステージ モンブランシリーズ ■真空対応ステージ ■制御装置 ■アクセサリー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高い追従性0.1μm±20nmを実現！サブミクロンでのステップを綺麗に刻みます
『RSTアライナー』は、駆動ユニットをバランスの取れた正三角形に 配置した超高精度アライメントステージです。 この軸配置がアライメントに必須の高精度な微少駆動を可能にしました。 制御に必要な計算式は無償提供いたします。 モンブランシリーズで培った技術の粋を集約。高い分解能設定でも、 感度良く追従します。 【特長】 ■バランスの取れた正三角形配置 ■専用設計の駆動ユニット ■大口径透過穴 ■テーブルサイズ自在 ■Z機構の追加可能 ■カスタム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
多様なモータ変更要求に対応できる製品など様々なアライメントステージをご用意！
当社では、小型デバイスの組立に適している『YRA-070』をはじめとする XYθ薄型アライメントステージシリーズを取扱っております。 多様なモータ変更要求に対応している『YRA-071』や、中小型液晶や ウエハの張り合わせに適した『YRA-131』、シリーズ最大の高耐荷重仕様の 『YRA-200』がございます。ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ■YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ■YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ■YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上！高精度チルトアライメントに好適な□100mmサイズ登場！
『ボールネジ駆動スイベルステージ』は、より高分解能での制御が 可能な製品です。 重量が2.8Kg→2.0Kgと28%減少し、ボールネジ駆動で耐久性が大幅に向上。 ウェハーのアライメント等に適しており、ワークの上下に自由な 空間が生まれ、設計の自由度が高まります。 【特長】 ■より高分解能での制御が可能 ■重量が28%Down、2.8Kg→2.0Kg ■ボールネジ駆動で、耐久性が大幅に向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
繰り返し位置決め精度±0.5μm！動作時の真直性に優れ、柔軟なカスタムに対応
『XYステージ』は、分析・検査装置への組込に適した 高精度ロングストロークです。 部品精度、剛性、組立技術の向上により、軌跡の再現性が高いため、 補正や原点復帰が安定し高精度な位置決めが可能。 ケーブルベアキットの取付用タップ穴が本体にありますので、 納入後でもケーブルベアを取り付けていただくことができます。 当社で取り付けての納入も対応しております。 【特長】 ■真直度の高い再現性 ■特殊測定による信頼性向上 ■配線作業の利便性向上 ■柔軟なカスタム対応 ■様々な特殊測定を承っている ・測定器はロータリーエンコーダ、オートコリメータ等、多数取り揃え ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低価格とサブミクロンの送り精度を両立した位置決めステージ。高耐荷重で活用の幅も広がります
神津精機の自動X・XYステージ『SXAシリーズ』は先駆的な製造分野で高いコストパフォーマンスを実現いたします。 【こんなことでお困りではありませんか？】 ■生産ラインでたくさん使うので、出来るだけコストを抑えたい ■クライアントの希望納期が流動的だから、出来るだけ短期間で調達したい ■高い剛性と高い精度、ストロークが長い自動Xステージが欲しい ■クリーンルームで使いたい 【特長】 ■部品の共通化×量産により、25%～40%の低価格を実現（当社比） ■98,000円（税別）～の4機種をラインアップ！ ■高剛性ボールネジ＋専用クロスローラーガイド採用 ■高耐荷重・モーメント剛性共に当社従来比2倍以上！ 【高い汎用性とハイパフォーマンスを両立】 【1】高精度＝要求ニーズ＋KOHZU品質 【2】低価格＝部品共通化＋工程管理でコスト抑制 ※改造対応はモーター交換が可能です。 ※自動XYステージ『SYAシリーズ』もご用意しています
薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを実現！
当社で取り扱う『ST07A-S1W/YMO7A-SIW』をご紹介いたします。 薄型XYステージと薄型スイベルステージの採用で、ダウンサイジングを 実現。従来型よりも高さが46mm（約50％）ダウンし、φ18mmの透過穴で 使用用途が広がります。 テーブル面は70mm×70mm、案内方式は精密クロスローラガイドと なっております。 【ST07A-S1W 仕様（一部）】 ■センター穴：φ18mm（最小有効透過穴径φ13mm） ■ワークディスタンス：70mm ■回転中心変位量：φ0.05mm/±3° ■水平耐荷重：49N（5kgf） ■モーメント荷重：0.71arcsec/N・cm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
位置決めステージ選定でお悩みの方へ。どの工程でどんな位置決めステージが使われているのかがわかる！装置の選定ポイントもご紹介
当資料は、半導体製造工程ごとに使用実績を掲載しています。 インゴットの位置決め用高荷重ゴニオメーター「ワイヤーソー」をはじめ、 完成までの前工程/後工程で使われる位置決めステージをご紹介。 他にも、半導体ウエハのみならず様々な試料の厚さや表面形状等を 測定する装置などにも活用できます。 【掲載製品（一部）】 ■ワイヤーソー ■ウエハボンディング装置 ■プリント基板用露光装置 ■膜厚・組成測定装置 ■レーザーダイシング ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.1μmの追従性を実現する『RSTアライナー』と薄型・小型の省スペースの『YRAシリーズ』から用途に合わせ、お選び頂けます。
【RSTアライナー】 ■最大の特徴である駆動ユニットのバランスの取れた正三角形配置がアライメントに必須の超高精度な微少駆動を可能に ■リニアスケール等のフィードバックを掛けずに0.1μm±20nmの高い追従性を実現 ■ベアリングを使用していない為、大口径の透過穴が実現可能 ■ウエハサイズやワークサイズに合わせ、テーブルサイズも自在 ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加可能 ■高耐荷重仕様、外観色の変更、仕様等、カスタム対応 【YRAシリーズ】 ■薄型・小型の省スペースながら、高精度・高剛性を実現 ■XYθ軸の各軸が独立して動作する一体型構造 ■用途に合わせた4型式をラインアップ ・YRA-070：シリーズ最小のアライメントステージ ・YRA-071：多様なモータ変更要求に対応可能 ・YRA-131：中小型液晶やウエハの貼り合わせに好適 ・YRA-200：シリーズ最大の高耐荷重仕様
X-Y-Z-θx-θy-θzの全方向において、高精度アライメント(ターゲット1μm以下)が可能になりました。
従来の「RSTアライナー」の駆動ユニットにダブルクサビ方式を使用したパラレルリンク機構を採用したことで、昇降、チルト駆動も1台で実現。 【特長】 ■6軸駆動でも低床を維持。 ■駆動ユニットを、バランスのとれた正三角形に配置することで高い追従性を実現。 ■高剛性クロスローラガイド搭載により、高耐荷重仕様。（貼り合わせ時の加圧も問題なし） ■駆動モーターを選択可能。各社サーボモーター、ステッピングモーター、AZモーター等 ■テーブルに大口径透過穴を搭載。 ■駆動部をユニット化したことにより、テーブルサイズや形状を自由に設計可能なので、ご要望にぴったりのステージをご提案。 ■制御に必要なDLL/サンプルコードをご提供。
お客様の多様なニーズにお答え！様々な回転ステージのラインアップをご用意
科学実験ならびに研究開発において高精度な角度制御が不可欠です。 当社では高精度な角度制御に関するお客様の多様なニーズに応えるべく、 様々な回転ステージをラインアップしております。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■高荷重に耐えられる回転ステージ ■回転芯がぶれない回転ステージ ■微小領域での超高精度位置決めに特化した回転ステージ ■2つの回転軸が同軸に配置されたステージ 等々 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
300種類を超える多彩なラインアップ！様々な組み合わせが可能です
『モンブランシリーズ』は、当社の長年にわたるカスタムオーダーメイドの 経験を凝縮して生まれた汎用精密位置決めステージです。 高精度・高剛性・高耐久性を備えております。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。 【ラインアップ】 ■手動XYステージ ■ゴシックアークステージ ■手動Zステージ ■自動Xステージ ■自動スイベルステージ ■手動スイベルステージ ■精密ポジショナー ■自動回転ステージ ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問合せください。
実際の使用条件で希望精度が実現できるか、検証します。ワーク重量、駆動速度など個々の条件に近い環境を用意して、精度測定します。
神津精機では、世の中のニーズに応えるために、製品の高精度化を進めてきました。そこで不可欠であったのは「測定技術」の向上です。 当社では、高精度な測定器を各種取り揃え、経験豊かな測定担当者が綿密な精度検査を実施しています。 主な測定器 ・レーザー測長機（分解能1nm）：直線方向の位置決め精度 ・ロータリーエンコーダ（分解能0.00005°）：回転方向の位置決め精度 ・オートコリメータ（分解能0.001秒）：姿勢変化、あおり方向の位置決め精度 ・電気マイクロメータ（分解能0.01μｍ）：走りの真直性 弊社ホームページ（https://www.kohzu.co.jp/technology/actualvalue/）では、過去に行った特殊測定の実績をご紹介しております。ご用途に応じた精度測定も可能ですので、ご相談ください。
構造がシンプルで、価格を抑えた仕様！ボールネジを採用しているので耐久性に優れています
当社で取り扱う、自動Zステージ『ZA07A-V201』をご紹介いたします。 ボールネジを採用しているので耐久性に優れ、高速移動が可能。 構造がシンプルで、価格を抑えた仕様になっております。 また、テーブルの大きさ口70mmサイズの製品として、高剛性を有する 「ZA07A-V1F01」や低床の「ZA07A-W2C02」などをご用意しています。 【仕様（一部）】 ■テーブルサイズ：70mm ■ステージ高さ：max102.5mm ■案内方式：クロスローラ ■移動範囲：CW 4mm、CCW 10mm ■分解能：0.25μm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
各種装置導入後のXY軸後付けに好適！LMガイドの採用によりロングストロークを実現。透過穴も確保し、幅広いご用途で利用可能。
『CYAT-070』は、2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現する 超薄型XYステージです。 透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、顕微鏡用小型XYステージとしても 使用可能。薄型構造のため、各種装置導入後のXY軸後付けに好適です。 また、LMガイドの採用によりロングストロークで、用途が広がります。 【特長】 ■2軸一体構造により、大幅な薄型化を実現 ■当社Z軸を追加しても全高70mm ■透過穴φ30mmをフルストロークで確保し、 顕微鏡用小型XYステージとしても使用可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
