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静電容量センサーを内蔵し、リニアリティエラー0.05％以下です。
多種多様なピエゾステージを取り揃えております。最大ストローク500μm以上。静電容量センサーを内蔵し、リニアリティエラー0.05％以下です。30分で既存のAFMをクローズドループ制御にアップグレード。低価格。デジタルコントローラーにより、サーボパラメーター(P.I.D.Notch)の変更が簡単です。特定の顕微鏡へ簡単に取り付け可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。 ※こちらのカタログは英語のカタログになります。
ロングストローク、しかも高分解能（5nm,更に高分解能も特注で可）
アパチャー付き ＸＹステージのKDT105は、機械的及び電気的変更のカスタム対応が可能です。高真空対応やクリーンルーム仕様納品も可能。また、非磁性オプションが可能で、可動範囲設定リミットスイッチ付です。XYZ-３軸ステージはMP 84-LMとなります。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプションも可能です。また、KDT180-LMは、モータ数は1軸につき1個です。オプションで2個まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
超ロングストロークピエゾステージ1軸（組み合わせ次第で多軸可能）
超ロングストローク・ピエゾステージのMT-53-PMは、ケーブルの引き出し方向変更可能です。複数個の組み合わせにより、多軸ステージ構築可。真空対応可。Ｎｏｎ－ｍａｇｕｎｅｔｉｃオプション可。クリーンルーム納品仕様可。また、MT84は、高真空対応、クリーンルーム仕様納品ができ非磁性オプションが可能です。さらにMT105は、アダプタープレートを使用せずにXYステージ組立ができ、取付金具でZ方向も組立可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
中心穴径は最大8ミリまで可で、機械的及び電気的変更可です。
回転ステージのDT65は、中心穴径は最大8ミリまで可能です。分解能の変更可。Z軸組立て対応可。機械的及び電気的変更や高真空対応も可能です。クリーンルーム仕様納品もできます。また、DT105は、アダプターを使用せずにMT105で組立てができ、取付金具でZ軸組立て対応可能です。機械的及び電気的変更や真空・非磁性オプションも可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空対応可で、クリーンルーム仕様納品可の製品になります。
リフティングステージは、真空対応可能です。クリーンルーム仕様納品もできます。ストロークは16mm、位置きめ精度は2μm、垂直力/置換え比は1：3です。また、直進性/平面度は±2μm、最大送り速度は20mm/sです。最大加速度は200mm/sの2乗、最大負荷はＺ：30Ｎ、重量は4.5kgになります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
