セラミック製品 超精密真空チャック
材料を創設し、いつの日かを創造する
ポアフリー系セラミックス材を用い、究極の平面平滑性を追求した超精密な真空チャックです。 各種ウエハーに対応し、現在主流のφ300mmサイズにおいてもその平滑性を保証します。
- 企業：株式会社NTKセラテック
- 価格：応相談
チャック×株式会社NTKセラテック - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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セラミック製品 ポーラスチャック
材料を創設し、いつの日かを創造する
平面平滑性および特殊製造手法により優れた吸着特性と高耐久性でウエハーや大型基板の全面吸着を必要とする製造工程において高い生産性と信頼性を提供いたします。 ポーラス体は、ユーザーニーズにあわせた材料および気孔径サイズの選択自由度をもっています。
- 企業：株式会社NTKセラテック
- 価格：応相談
