真空対応 位置決めテーブル <MT>
真空対応 位置決めテーブル <MT>
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
- 企業:有限会社メガトラスト MEGA-TECH Formations 豊玉事業所
- 価格:10万円 ~ 50万円
1~4 件を表示 / 全 4 件
真空対応 位置決めテーブル <MT>
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
コンパクト&高剛性!超小型ボディの位置決めテーブル
当製品は、高真空(1×10-5pa程度)対応の位置決めテーブルです。 手のひらに載るほどの超小型ボディでありながら、案内系にクロスローラ ガイド、伝達系に精密ボールねじ(予圧品)を採用し、高剛性を実現、安定 した動きを保証します。 またXY軸、XZ軸など多軸に組み合せ可能なブラケット等、オプションも ご用意しています。 【特長】 ■クリーン対応品も用意 ■コンパクト&高剛性 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせた最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空対応 位置決めテーブル <VT>
弊社では自社で放出ガス評価を行なっているため、 高真空雰囲気中の使用でもチャンバー内の他の機器への影響が少なく、 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。
高真空対応!互換性も高い位置決めテーブル
当製品は、真空対応の位置決めテーブルです。 当社では自社で放出ガス評価を行なっているため、お客様の要望に沿った 的確な仕様の真空アプリケーションを提供することができます。 また、VTシリーズは各メーカー市販のステージ(大気用)と同等サイズ バリエーションと互換性も高く、貴社既存の大気仕様装置を設計変更を することなく、低放出ガス仕様や真空対応化することも可能です。 【特長】 ■高真空(1×10-5pa程度)対応 ■真空対応ステッピングモータを採用 ■真空対応フォトセンサを採用 ■真空対応グリースはお客様の用途に合わせて最適なものを選択 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。