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バルブ×株式会社キッツエスシーティー - メーカー・企業と製品の一覧

バルブの製品一覧

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高純度ガス系 2連3方バルブ(フリッカータイプ)

バルブボックス自体の省スペース化が可能! コンパクトなボディ部のデッドスペースを究極にまで少なくした複合バルブです。

『2連3方バルブ(フリッカータイプ)』は、当社の2連3方ブロック バルブのボディ部を更にコンパクトに設計し、デッドスペースを 究極にまで少なくした複合バルブです。 2つのバルブアクチュエーターはセンター部のボディを中心とし、 両側に水平対向した位置にレイアウト。 ダイヤフラム標準タイプの「KDシリーズ」から、コンパクトタイプの 「KCDシリーズ」、高圧タイプの「RDシリーズ」の各種バルブシリーズを ご用意しております。 【特長】 ■当社の2連3方ブロックバルブのボディ部を更にコンパクトに設計 ■2つのバルブアクチュエーターは両側に水平対向した位置にレイアウト ■コンパクト設計の為バルブボックス内のレイアウト設計が容易 ■バルブボックス自体の省スペース化が可能 ■形状が単純な為、ヒータージャケット、断熱材の設計が容易 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系 2連3方バルブ(ブロックタイプ)

配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性!特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能

『2連3方バルブ(ブロックタイプ)』は、KD・KCD・RD シリーズ、 各シリーズダイヤフラムバルブの2台(2連)を一つにまとめ、配管流路を 共通化することによりデッドスペースを極小化した脱ガス特性の優れたバルブです。 基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぎ、同種及び異種の 組み合わせにより、配管システムを極小にコンパクト設計することが可能。 また、配管レイアウトに合わせた好適のフローシステム、配管取り回し、 継手種類を選択する事ができます。 【特長】 ■優れた脱ガス特性 ■基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぐ ■配管システムを極小にコンパクト設計することが可能 ■好適のフローシステム、配管取り回し、継手種類を選択できる ■特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能 #マニホールドバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』

ヒューマンエラーによる誤操作防止! OPEN状態 或いは OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能な高純度ガス系LOTOバルブ

当社が取り扱う、高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』をご紹介します。 バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える 状態になり、バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて回します。 また、ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー(最小φ3.18)を通すことで、 バルブのLock-out Tag-outができ、ヒューマンエラーによる誤操作防止に役立ちます。 【特長】 ■バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える ■バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて、回す ■ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー(最小φ3.18)を通すことで、  バルブのLock-out Tag-outができ、作業者の誤操作防止に役立つ ■オプションでOPEN状態、OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能 ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『NRDシリーズ』

スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減!ハイフロータイプをラインアップしています

『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用し シンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。 高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの 幅広い流量レンジをラインアップ。 全シリーズ スプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。 【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラインアップ ■スプリングレスダイヤフラム構造を採用 ■高圧ガス大臣認定品の対応が可能(オプション) ■特殊仕様、ブロックバルブ対応(オプション) ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRHD8Cシリーズ』

大流量供給システムに最適!安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高圧対応の自動バルブ

『NRHD8Cシリーズ』は、Cv1.0 ハイフロータイプの自動バルブです。 #空圧 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。 フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの 大流量供給システムに好適です。 【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を  採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ■フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの  大流量供給システムに好適 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRMD8Cシリーズ』

安全・高耐久・パーティクルフリーを実現!アクチュエータをスリム化した高圧対応の自動バルブ

『NRMD8Cシリーズ』は、Cv0.75 ミディアムフロータイプの自動バルブです。 #空圧 BSGS(特殊材料ガス大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けに アクチュエータをスリム化。 新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を 採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しました。 【特長】 ■Cv0.75 ミディアムフロータイプ ■BSGS・GS等の高圧ガス機器向けにアクチュエータをスリム化 ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を  採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ※※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『TD/TCD(B-SEAL バルブ)』

KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。集積化への対応が可能!手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されています

『TD/TCD(B-SEAL バルブ)』は、KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。 従来の4点締め施工ではなく、Center-lock方式を採用。 バルブ交換が非常に簡素化され、メンテ施工性が非常に優れており、 ユーザーの生産性に大きく貢献致します。 また、バルブとブロックの装着時の配置ミスを防ぐため、バルブと ブロック部の接合点の切り目サイズが、それぞれIn側、Out側で 異なった設計になっております。 【特長】 ■メンテ施工性が非常に優れており、ユーザーの生産性に大きく貢献 ■手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されている ■トグルハンドルにより、限られたスペースでも容易にハンドル操作が可能 ■ブロックタイプでは、流路に沿ってカートリッジヒータをブロック内蔵  することができ、温度制御性ベークアウト性が大幅に改善される ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『TD/TCD(C-SEAL バルブ)』

1.125"C-SEAL対応 コンパクト設計のバルブ!誤作動防止LOTO機構付きもご用意!繰返し着脱でのシール性能を高めています

『TD/TCD(C-SEAL バルブ)』は、1.125" C-sealに対応する コンパクト設計されたバルブです。 1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を 揃えており、手動弁は、90°回転ハンドルで、誤作動防止の LOTO機構付きもご用意。 ブロックとのシール部硬度はHv300に管理されており、繰返し着脱での シール性能を高めています。 【特長】 ■TD4シリーズのCv値は0.3 ■1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を揃えている ■手動弁は90°回転ハンドルとなっており、誤作動防止のLOTO機構付きもある ■接ガス部は、Chrome richプロセスを施し、Cr/Fe>2.0を達成(オプション) ■ブロックとのシール部硬度はHv300に管理され、繰返し着脱でのシール性能を高める ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系 コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』

「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20%縮小化を実現!半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能!

『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を 受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。 各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。 洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用 製造装置等へご使用いただけます。 【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20%縮小化を実現 ■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現 ■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能 #空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に!全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用 ダイレクトダイヤフラムバルブです。 従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い 低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮し コンパクト化しています。 高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したい ガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。 【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現 ■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている ■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化 ■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系 ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化!極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部(ASSY)は交換可能

『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積(デッドボリューム)を極限まで 小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。 ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、 リフト(ASSY)部がダイヤフラムを強制リフトします。 また、リフト(ASSY)部はユーザーサイドで交換可能です。 【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小級に  することで、極めて良好なガス置換特性となっている ■ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、  リフト(ASSY)部がダイヤフラムを強制リフトする ■リフト(ASSY)部はユーザーサイドで交換可能 #デッドスペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『クイックターンバルブ』

ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持するバルブ

株式会社キッツエスシーティーが取り扱う、半導体製造向け高純度ガス系バルブ『クイックターンバルブ』をご紹介します。 接続継手が1/4"CVCオスの「KD4QTS-VC」をはじめ、「KD8QTS-VC」、 「KD4QTS-VFC」、「KD8QTS-VFC」など多彩なラインアップをご用意。 中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持し、バルブの半開など、ヒューマンエラーによるバルブ誤作動の防止に役立ちます。 【特長】 ■蝶型ハンドルにより、操作性が向上 ■中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持 ■バルブの半開防止に役立つ ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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クリーンバタフライバルブ『BZD』

半導体グレードに対応したバタフライバルブです。シール性を良くし、余分な圧着力を必要としない!小さな開閉トルクで操作が可能

『BZD』シリーズは、従来の汎用バタフライバルブに独自のクリーン化技術を 投入し完成された、半導体グレードに対応したバタフライバルブです。 本体及び接液部品がステンレス製のウエハー形の工業用バタフライバルブで、 パーティクルの滞留や付着を少なくするため、接ガス(接液)部を研磨仕上げと 禁油処理を施しております。 ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能です。 【特長】 ■二重偏心構造を採用し高いシール性を確保 ■小さな開閉トルクで操作が可能 ■シート材質は耐久性のあるPTFEを採用 ■小さな力で操作でき、レバー操作式に比べ小スペースの配管が可能 ■ブラケットとコネクターを介して、空気式アクチュエーターの搭載が可能 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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チェックバルブ『IC』

優れた内部シール性!低圧から高圧まで使用可能なポペット摺動タイプの逆止弁

『IC』シリーズは、ポペット摺動タイプのチェックバルブです。 精密嵌合仕上げにより、スムーズな開閉動作を有しており、特別に デザインされたエラストマーにより、低圧から高圧までシール可能。 コンパクト設計によりガス溜りも極小に押さえた設計に仕上がっています。 【特長】 ■材質はSUS316L材を使用し、耐食性を向上 ■構成部品はシンプルな構造 ■メタルシールにより優れた外部気密 ■ガス溜り部を極小にしている ■エラストマーの弾性を利用し、優れた内部シール性 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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L型真空ベローズホットバルブ『IVBH』

ボディ外部とベローズ内部にヒータを内蔵!弁体・ベローズを加熱できる真空バルブです。副生成物付着が減少!

『IVBH』シリーズは、ベローズの動きに追従するスパイラルヒーターを 内蔵し、弁開・弁閉状態でも弁体及びベローズを加熱できるL型真空バルブです。 当バルブは外部ヒーターだけでなく、ベローズの内部から加熱することにより コールドスポットをなくし、副生成物付着を極力少なくすることが可能。 #副生成物対策 内部・外部ヒーターは個別のチャンネルを持ち、それぞれMax180℃まで 任意の温度で加熱することができます。 【特長】 ■長期リーク性能を維持する事が可能 ■可動時の生成物脱落が少なくなり、パーティクル発生が極力減少 ■ベローズの高耐久化を実現 ■接続フランジは「ISO KF」「JIS VF/VG」など各種接続に対応可能 ■オプションとして磁気近接開閉スイッチ・サーモスタットなどをご用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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