バルブ×株式会社キッツエスシーティー - メーカー・企業と製品の一覧

高純度ガス系　2連3方バルブ（フリッカータイプ）

バルブボックス自体の省スペース化が可能！　コンパクトなボディ部のデッドスペースを究極にまで少なくした複合バルブです。

『2連3方バルブ（フリッカータイプ）』は、当社の2連3方ブロックバルブのボディ部を更にコンパクトに設計し、デッドスペースを究極にまで少なくした複合バルブです。 2つのバルブアクチュエーターはセンター部のボディを中心とし、両側に水平対向した位置にレイアウト。ダイヤフラム標準タイプの「KDシリーズ」から、コンパクトタイプの「KCDシリーズ」、高圧タイプの「RDシリーズ」の各種バルブシリーズをご用意しております。【特長】 ■当社の2連3方ブロックバルブのボディ部を更にコンパクトに設計 ■2つのバルブアクチュエーターは両側に水平対向した位置にレイアウト ■コンパクト設計の為バルブボックス内のレイアウト設計が容易 ■バルブボックス自体の省スペース化が可能 ■形状が単純な為、ヒータージャケット、断熱材の設計が容易 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系　2連3方バルブ（ブロックタイプ）

配管流路のデッドスペースを極小化、優れた脱ガス特性！特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能

『2連3方バルブ（ブロックタイプ）』は、KD・KCD・RD シリーズ、各シリーズダイヤフラムバルブの2台（2連）を一つにまとめ、配管流路を共通化することによりデッドスペースを極小化した脱ガス特性の優れたバルブです。基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぎ、同種及び異種の組み合わせにより、配管システムを極小にコンパクト設計することが可能。また、配管レイアウトに合わせた好適のフローシステム、配管取り回し、継手種類を選択する事ができます。【特長】 ■優れた脱ガス特性 ■基本性能は、ベースとなるバルブの性能を受け継ぐ ■配管システムを極小にコンパクト設計することが可能 ■好適のフローシステム、配管取り回し、継手種類を選択できる ■特殊仕様として更に3連以上の多連のブロックバルブを設計・製作可能＃マニホールドバルブ ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』

ヒューマンエラーによる誤操作防止！　OPEN状態或いは OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能な高純度ガス系LOTOバルブ

当社が取り扱う、高純度ガス系バルブ『LOTOバルブ』をご紹介します。バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える状態になり、バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて回します。また、ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー（最小φ3.18）を通すことで、バルブのLock-out Tag-outができ、ヒューマンエラーによる誤操作防止に役立ちます。【特長】 ■バルブがCLOSE状態になると、ハンドルが下がり、鍵用の穴が見える ■バルブをOPEN状態にする場合は、ハンドルを上げて、回す ■ハンドル上部の穴に南京錠またはワイヤー（最小φ3.18）を通すことで、　バルブのLock-out Tag-outができ、作業者の誤操作防止に役立つ ■オプションでOPEN状態、OPEN-CLOSE両方の状態でも対応可能 ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『NRDシリーズ』

スプリングレスダイヤフラム構造の採用でパーティクルを低減！ハイフロータイプをラインアップしています

『NRDシリーズ』は、新型高出力アクチュエータと内ネジボディ構造を採用しシンプルでコンパクトなデザインを追求した高圧ダイヤフラムバルブです。高圧に対応するバルブとして少流量から大流量タイプまでの幅広い流量レンジをラインアップ。全シリーズスプリングレスダイヤフラム構造としパーティクルを低減しました。【特長】 ■スリムでコンパクトなデザイン ■ハイフロータイプをラインアップ ■スプリングレスダイヤフラム構造を採用 ■高圧ガス大臣認定品の対応が可能（オプション） ■特殊仕様、ブロックバルブ対応（オプション） ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRHD8Cシリーズ』

大流量供給システムに最適！安全・高耐久・パーティクルフリーを実現した高圧対応の自動バルブ

『NRHD8Cシリーズ』は、Cv1.0 ハイフロータイプの自動バルブです。＃空圧新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現。フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの大流量供給システムに好適です。【特長】 ■Cv1.0 ハイフロータイプ ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を　採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ■フラットパネルディスプレイ工場や大口径ウエハ向け半導体工場などの　大流量供給システムに好適 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・自動ダイヤフラムバルブ『NRMD8Cシリーズ』

安全・高耐久・パーティクルフリーを実現！アクチュエータをスリム化した高圧対応の自動バルブ

『NRMD8Cシリーズ』は、Cv0.75 ミディアムフロータイプの自動バルブです。＃空圧 BSGS（特殊材料ガス大量供給装置)・GS等の高圧ガス機器向けにアクチュエータをスリム化。新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現しました。【特長】 ■Cv0.75 ミディアムフロータイプ ■BSGS・GS等の高圧ガス機器向けにアクチュエータをスリム化 ■新開発の高出力アクチュエータとスプリングレスダイヤフラム構造を　採用することにより安全・高耐久・パーティクルフリーを実現 ※※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『TD/TCD（B-SEAL バルブ）』

KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。集積化への対応が可能！手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されています

『TD/TCD（B-SEAL バルブ）』は、KITZ SCT独自のシール方式のバルブです。従来の4点締め施工ではなく、Center-lock方式を採用。バルブ交換が非常に簡素化され、メンテ施工性が非常に優れており、ユーザーの生産性に大きく貢献致します。また、バルブとブロックの装着時の配置ミスを防ぐため、バルブとブロック部の接合点の切り目サイズが、それぞれIn側、Out側で異なった設計になっております。【特長】 ■メンテ施工性が非常に優れており、ユーザーの生産性に大きく貢献 ■手動弁は、誤作動防止のため、ロック機構が装備されている ■トグルハンドルにより、限られたスペースでも容易にハンドル操作が可能 ■ブロックタイプでは、流路に沿ってカートリッジヒータをブロック内蔵　することができ、温度制御性ベークアウト性が大幅に改善される ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系バルブ『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』

1.125"C-SEAL対応　コンパクト設計のバルブ！誤作動防止LOTO機構付きもご用意！繰返し着脱でのシール性能を高めています

『TD/TCD（C-SEAL バルブ）』は、1.125" C-sealに対応するコンパクト設計されたバルブです。 1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を揃えており、手動弁は、90°回転ハンドルで、誤作動防止の LOTO機構付きもご用意。ブロックとのシール部硬度はHv300に管理されており、繰返し着脱でのシール性能を高めています。【特長】 ■TD4シリーズのCv値は0.3 ■1.125" C-seal用のサーフェスマウント向けとして手動・自動弁を揃えている ■手動弁は90°回転ハンドルとなっており、誤作動防止のLOTO機構付きもある ■接ガス部は、Chrome richプロセスを施し、Cr/Fe>2.0を達成（オプション） ■ブロックとのシール部硬度はHv300に管理され、繰返し着脱でのシール性能を高める ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系　コンパクトダイヤフラムバルブ『VLCDシリーズ』

「KDシリーズ」の基本性能を受け継ぎ、20％縮小化を実現！半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能！

『VLCDシリーズ』は、基本性能は従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施したダイヤフラムバルブです。各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現。洗浄工程、検査工程は、従来品と同等のため、半導体、FPD、LED用製造装置等へご使用いただけます。【特長】 ■従来の「KDシリーズ」の性能を受け継いだまま、部品の共通化を実施 ■外観サイズを従来品の「KDシリーズ」に対し、20％縮小化を実現 ■各部品の見直し、材料の見直しを実施し、低コストプライスを実現 ■半導体、FPD、LED用製造装置等へ使用可能＃空圧 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高圧対応・高純度ガス用ダイヤフラムバルブ『VRDシリーズ』

半導体製造プロセスの高圧ガスラインや装置内配管等に！全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化

『VRDシリーズ』は、封入ガス圧20.6MPaに対応する1/4"高圧用ダイレクトダイヤフラムバルブです。従来品の「RDシリーズ」の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現。全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化しています。高圧及び高度の真空保持や外気への漏れを完全に防止したいガスラインや装置内配管等にご使用いただけます。【特長】 ■封入ガス圧20.6MPaに対応 ■従来品の性能そのままに、部品点数の削減を行い低プライス化を実現 ■「RDシリーズ」に比べ操作トルクの低減を行っている ■全サイズの高さを従来品より6mm短縮しコンパクト化 ■低トルク、コンパクト化を実現したことにより今まで以上に使いやすい ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系　ZEROボリュームバルブ『ZCDシリーズ』

バルブ内のデッドボリュームを極限まで最小化！極めて良好なガス置換特性のダイヤフラムバルブです。リフト部（ASSY）は交換可能

『ZCDシリーズ』は、バルブ内の内容積（デッドボリューム）を極限まで小さくして、ガスの置換特性を高めたダイヤフラムバルブです。ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトします。また、リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能です。【特長】 ■バルブ閉時にシートからメイン流路までのデッドボリュームを最小級に　することで、極めて良好なガス置換特性となっている ■ダイヤフラムの真空閉鎖防止、およびオープン速度を向上させるために、　リフト（ASSY）部がダイヤフラムを強制リフトする ■リフト（ASSY）部はユーザーサイドで交換可能＃デッドスペース ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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高純度ガス系ダイヤフラムバルブ『クイックターンバルブ』

ヒューマンエラーによるバルブ誤操作防止を目的に開発された中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持するバルブ

株式会社キッツエスシーティーが取り扱う、半導体製造向け高純度ガス系バルブ『クイックターンバルブ』をご紹介します。接続継手が1/4"CVCオスの「KD4QTS-VC」をはじめ、「KD8QTS-VC」、「KD4QTS-VFC」、「KD8QTS-VFC」など多彩なラインアップをご用意。中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持し、バルブの半開など、ヒューマンエラーによるバルブ誤作動の防止に役立ちます。【特長】 ■蝶型ハンドルにより、操作性が向上 ■中間開度がなく、必ず"OPEN"または"CLOSE"状態を保持 ■バルブの半開防止に役立つ ※KITZ SCTでは半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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WET系バルブ『FCDNシリーズ流量調整＋バイパス付自動弁』

流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保など1台3役の複合弁！

WET系樹脂バルブ「FCDNシリーズ」はクリーンで使いやすく、逆圧に対しても高い封止性能があるバルブです。『流量調整＋バイパス付自動弁』は、流量設定、エア駆動開閉、バイパス流路の確保など1台3役の複合弁です。バルブサイズは1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"をご用意しており、流体温度は5～100℃、周囲温度は0～60℃となっています。【仕様（抜粋）】 ■流体温度：5～100℃ ■周囲温度：0～60℃ ■耐圧：1.0MPa ■弁座漏れ：0cm3/min（水圧にて） ■駆動方式：N.C./N.O./複動 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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WET系樹脂バルブ『FCDNシリーズ』

クリーンで使いやすいWET系バルブ！特殊機能付きや200℃対応高温樹脂弁などをご用意

『FCDNシリーズ』は、クリーンで使いやすく、逆圧に対しても高い封止性能があるバルブです。超高純度流体に対応したフッ素樹脂製の「手動弁・自動弁手動」をはじめ、全開流量を任意に設定できる「流量調整付自動弁」や「バイパス付自動弁」などをラインアップ。用途に応じてお選びください。【ラインアップ（抜粋）】 ■FCD 手動弁 ■FCD 自動弁 ■FCD 自動弁（各種機能付）・流量調整付自動弁・バイパス付自動弁・流量調整＋バイパス付自動弁 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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APCバタフライバルブ『PCAシリーズ』

チャンバー内を汚染しにくい構造！Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現

『PCAシリーズ』は、バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能なバルブです。新開発のシートリング機構が、フラッパーに取り付けられたO-RINGのねじれや脱落の問題を解消。また、フラッパーシール部がグリスレスのため、反応室を汚染しにくい構造です。シートリング機構採用により、Oリングへのストレス低減、高い耐久性能を実現しました。【特長】 ■バルブ開閉、スロー排気、調圧が可能 ■低真空から高真空まで圧力調整が可能 ■新開発のシートリング機構を採用 ■高耐久：全開・全閉動作 300万回 ■独自ヒーティングによる内部副生成物の低減 ■副生成物の多いプロセスへ優れた適応性を発揮 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。