L型バルブ アングルバルブ ＣＦ(コンフラット)フランジ付き
L型バルブ アングルバルブ ＣＦ(コンフラット)フランジ付き
ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。 超高真空用及び有毒なガス系にも使用可能なＣＦ(コンフラット)フランジ付きです。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
バルブ×入江工研株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧
バルブの製品一覧
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成形ベローズ（CF規格品）
成形ベローズ（CF規格品）
コンフラットフランジ付成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304L 固定通し穴型 or 回転通し穴型
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
ゲートバルブ『コンパクトコスラーズII』
小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介
『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して 設計されております。 【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性能 ■イージーメンテナンス ■長寿命でハイレベルな品質 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
L型バルブ アングルバルブ（ＩＳＯ規格のＮＷ−ＫＦフランジ付き）
成形・溶接ベローズを内蔵。長寿命のニーズにも応えます！
ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した 長寿命の真空バルブです。 ◆バルブ材質の真空側は全てステンレス(ＳＵＳ)で構成 ◆コンパクト設計により、小型・軽量化を実現 ◆正圧・逆圧、どちらも０.１５ＭＰaの差圧でも漏れません ◆取り付け姿勢が自由 （特に指定のない場合は、圧力変動の大きい方に弁座が向く取り付け姿勢を推奨しております。） ※詳細は【お問い合わせ】よりどうぞ。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
L型バルブ アングルバルブ 一般ＪＩＳ真空フランジ付
L型バルブ アングルバルブ 一般ＪＩＳ真空フランジ付
ＩＫＣの高真空アングルバルブは豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを内蔵した長寿命の真空バルブです。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
ベローズ式直線導入機
ベローズ式直線導入機
ＩＫＣの直線(直進)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直線(直進)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意致しました。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
磁気結合式導入機
磁気結合式導入機
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入と直進回転導入の２タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
コスラーズゲートバルブ
開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲートバルブを標準化！
FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II：昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE：昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK：昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ■SWELL GARIVA：昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている シール用シリンダによって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
高真空アングルバルブシリーズ
片側回転フランジのため、取付けが容易！3種類の接続形式に、手動及び自動をシリーズ化
『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを 内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び 有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空 フランジ付きの3種類の接続形式に、手動及び自動(圧空式)をシリーズ化。 また、バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LXシリーズも 新しく規格品として用意しました。 【特長】 ■バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成 ■全体がコンパクト設計により小型、軽量化 ■正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない ■取り付け姿勢が自由 ■機能設計により大きなコンダクタンスが得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：入江工研株式会社
- 価格：応相談
