小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介
『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して 設計されております。 【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性能 ■イージーメンテナンス ■長寿命でハイレベルな品質 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保つ ■シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮 ■お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して設計 ■弁箱付タイプはメンテナンスフランジを上部に設けており、 上部より弁板の脱着が可能 ■100万回のライフサイクルと安定した品質をご提供 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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真空ベローズの入江工研 「高次元で気密する、伸縮の達人」 The master of expansion and contraction at a higher level of airtightness