片側回転フランジのため、取付けが容易！3種類の接続形式に、手動及び自動をシリーズ化
『高真空アングルバルブシリーズ』は、豊富な実績をもつ成形・溶接ベローズを 内蔵した長寿命の真空バルブです。 取り扱いが非常に便利なISO規格のNW-KFフランジ付きと、超高真空用及び 有毒なガス系にも使用可能なコンフラットフランジ付き、又一般JIS真空 フランジ付きの3種類の接続形式に、手動及び自動(圧空式)をシリーズ化。 また、バルブのメンテナンス期間を延長させる目的で、LXシリーズも 新しく規格品として用意しました。 【特長】 ■バルブ材質の真空側は全てステンレス(SUS)で構成 ■全体がコンパクト設計により小型、軽量化 ■正圧、逆圧、どちらも0.15MPaの差圧でも漏れない ■取り付け姿勢が自由 ■機能設計により大きなコンダクタンスが得られる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【ラインアップ】 ■高真空アングルバルブ(16A～65A) ■高真空アングルバルブ(80A～100A) ■高真空ストレートバルブ(16A～63A) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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真空ベローズの入江工研 「高次元で気密する、伸縮の達人」 The master of expansion and contraction at a higher level of airtightness