開口幅400mm～2000mm！第六世代、第七世代基板に対応したゲートバルブを標準化！
FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II：昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE：昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK：昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ■SWELL GARIVA：昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている シール用シリンダによって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性 ■イージーメンテナンス ■長寿命で高品質 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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真空ベローズの入江工研 「高次元で気密する、伸縮の達人」 The master of expansion and contraction at a higher level of airtightness