1～6 件を表示 ／ 全 6 件
小型に加え中・大型もラインアップ！性能・省エネルギー両面で大きな優位性を持っています
POWER Ecoシリーズの当製品は、省エネルギーの観点から、消費電力や 冷却水量を低減することを目的として開発された高性能省エネルギー型の クライオポンプです。 冷凍機の高効率化やマルチウエーブ制御により、コンプレッサ1台で運転可能な クライオポンプの台数が増えているため、1台あたりの消費電力や冷却水量が 格段に低減されています。 【特長】 ■省エネ・省資源に有効［消費電力、冷却水量：15～70％低減可能］ ■再生・起動時間の短縮［従来に比べて半分以下(当社比)］ ■排気性能の向上［実質的なアルゴン排気容量を1.5～4倍と大幅に向上(当社比)］ ■低振動［従来に比べて約1/10以下］ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
吸気口径8～12インチの小型タイプ！ヒータレスで安全な高速再生を実現しました
POWERシリーズの当製品は、実用的な排気性能やマルチ運転での温度安定性を 向上させた高性能型のクライオポンプです。 振動加速度の平均値は従来に比べ約10分の1以下(当社比)。 マルチ運転時に1台のポンプのみ再生しても、極端に起動時間が長くなる ことはなく、運転環境による起動時間の変化を最小限にしました。 【特長】 ■ヒータレスで安全な高速再生を実現 ■実用性に優れた起動特性と温度安定性 ■低振動 ■アルゴン排気容量の限界値ギリギリまで良好な排気性能を持続 ■冷凍能力を大幅にアップ、安定した水素排気性能を長時間持続 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
排気速度1L/sあたりの価格はイオンポンプに比べて約1/2～1/3！水もれの心配はありません
『コンビネーションポンプ』は、チタンサブリメーションポンプと三極型 イオンポンプ(ノーブルポンプ)を組み合わせることで、イオンポンプの 有している清浄な超高真空が容易に得られるという特長をそのまま生かし、 大排気速度を安い価格で得られます。 また、油など有機物は全く使用しておりませんので、油汚染のない 超高真空が得られ、運転操作が簡単で停電の場合にも無人運転ができます。 【特長】 ■大排気速度 ■軽量でコンパクト ■安全設計 ■清浄な超高真空 ■液体窒素が不要 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
無振動・無騒音！被排気系を汚染する心配が無いため夜間の無人運転にも安心してご利用可能！
『イオンポンプ・ノーブルポンプ』は、超高真空ポンプです。 磁場中で冷陰極放電を起すことにより、電離された気体分子が陰極に 埋め込まれること、また陰極との衝突の際の陰極材料(Ti)をスパッタして、 活性なゲッター膜を連続的に作ることを利用して排気を行います。 油など有機物を一切使用していないため、系を汚さず清浄な真空が得られます。 【特長】 ■完全オイルフリー ■超高真空、極超真空 ■無人運転 ■不活性ガスの排気(ノーブルポンプ) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オイルフリーの超高真空が実現可能！大型ポンプ単体で用いる場合に比べ極めて経済的です
「チタンサブリメーションポンプ」および「タイバックポンプ」は、 チタンを真空中で加熱昇華させ、周囲壁面にチタン蒸着膜(ゲッター面)を作り、 金属のゲッター作用を利用して、気体の吸着排気を行うゲッターポンプです。 イオンポンプと併用することにより、オイルフリーの超高真空が実現可能。 また、小型軽量で取付場所を選びません。 【特長】 ■オイルフリーの超高真空 ■経済的 ■コンパクト設計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
