40％のサイズダウン！組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現
『エクセルポンプ』は、小型軽量の真空ポンプです。 イオンポンプをベースに、低い圧力領域での放電特性を改良し開発した ポンプ素子、効率のよいベーキングを行えるビルドインヒータを採用。 また、NEG(非蒸発型ゲッタ)ポンプの内蔵によりXHVの達成を可能にしました。 【特長】 ■UHV、XHV領域での高い排気能力 ■高効率ベーキングの実現 ■小型、軽量 ■クリーンルーム対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【その他の特長】 ■新開発のポンプ素子で低い圧力領域での放電を改良し、NEG(非蒸発型ゲッタ) モジュールにより、10^-10Pa台を実現 ■組み込み型のベーキングヒーターと保湿機能のカバーにより高効率を実現 ■40％のサイズダウン(当社比) ■カバー、マグネットなどの塗装には、スムーズな表面の耐熱塗装が施されている ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■完全オイルフリーの超高真空及び極高真空排気系 ■電子顕微鏡、表面分析装置 ■粒子加速器、核融合実験装置、宇宙環境試験装置 ■電子管などの真空保持ポンプ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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企業情報
キヤノンアネルバは、1967年の設立以来、真空薄膜形成装置や 真空コンポーネントの開発生産会社として、高度な技術力が 求められる超高真空分野で研鑽を続けてまいりました。 また、グローバルに事業展開する企業として、キヤノングループが 掲げる「共生」の企業理念のもと、国際社会の発展に貢献することを 目指してまいります。 今後も、確かな技術力に基づいた 高付加価値製品作りに邁進し、 エレクトロニクスの発展の一役を担ってまいります。
