1～3 件を表示 ／ 全 3 件
小型・低価格な実験用レーザーリフトオフ装置。フレキシブルディスプレイの試作、材料開発に！
『LSL-10』は、固体UVパルスレーザでラインビームを形成しワーク上の 基板をステージで動かし、全面にLLOプロセスを行うための実験装置です。 LLOはガラスやサファイアなどレーザ光を透過する基板を用いて レーザ照射により瞬間的に界面の剥離が可能です。 当装置は、小型・低価格でキャスターによる移動が可能。 クラス4の安全対策を実現しています。 【特長】 ■小型・低価格（キャスターにより移動可能） ■AC100V電源のみで使用できる ■クラス4の安全対策（光路/摺動部遮蔽・インターロック） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大型基板(515mm x 510mm)対応！レーザ照射により瞬間的に界面の剥離が可能
本装置は、固体UVパルスレーザを用いて当社独自の光学系により均一な ラインビームを形成し、ワーク上の基板をステージで動かすことにより 基板からデバイスを剥離するための装置です。 剥離基板及びデバイスはロボットアームによりトレイに回収されます。 【特長】 ■固体レーザを使った均一強度のラインビームにより 安定した剥離プロセスを実現 ■毒ガスなどの付帯設備が不要で低価格で低ランニングコスト ■大型基板(515mm x 510mm)対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
LLO品質が格段に向上！装置を御検討いただくためのデモ機もご用意しております
『LSL-40/100』は、固体UVパルスレーザを用いて当社独自の光学設計により 均一ラインビームを基板に照射し、ワークをステージで動かすことにより 基板全面にLLOプロセスを行うための小型低価格装置です。 新型レーザを採用することにより、LLO品質が格段に向上。 電源のみでご使用いただけます。 【特長】 ■小型・低価格(キャスターにより移動可能) ■電源のみで使用可能 ■クラス4の安全対策(光路摺動部遮蔽・インターロック安全回路) ■装置を御検討いただくためのデモ機もご用意 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
