更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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豊富な納入実績を持つ超純水加熱装置の決定版。
『AQUARIUS CDIシリーズ』は、Teflon材またはPVDF材の インラインヒーターが内蔵された温水器です。 加熱前後での純度や比抵抗値は維持した温純水を供給します。 温純水の利用によりプロセス溶媒の消費量を低減し、洗浄品質向上に貢献。 酸・アルカリなどのケミカル溶媒加熱にも利用可能であり、 その信頼性、品質により業界全般で広く採用されています。 【特長】 ■連続大流量の高純度な温純水供給 ■溶解力の増強 ■乾燥時間の短縮 ■接液部はTeflonとPVDF仕様 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
縦型シェルヒーターと温度制御盤のユニットヒーター
純水加熱器 「SP型」は、純水を70～90℃まで加熱して洗浄効果を高める、高性能純水加熱器です。 フロン等の溶剤に替わって純水が使用される、半導体や液晶製造の洗浄工程に用いられます。 全面パネル式でクリーンルーム対応。洗浄装置に連結し、遠隔操作することもできます。 【仕様】 ○ヒーターエレメントおよび接液部のステンレス表面処理として、 電解研磨を施し純水への不純物溶出を抑えている ○石英ヒーター・石英槽を使用した加熱装置に比べ、 堅牢でかつ大幅なコストダウンを実現 ○４ケ所のキャスター（アジャストボルト付き）により、 設置およびメンテナスや定期点検等での移動が容易 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
加温する液体成分に影響を及ぼさない製品となっています。
本装置は、シリコンウェハー，液晶ガラス基板，ハードディスク基板、及び各種部品等の洗浄で使用される超純水をカーボンヒーターにより加温する装置です。 【特徴】 ○純水加熱容器は石英ガラスを使用 ○純水接液配管部はフッ素樹脂を使用 ○純水加熱に好適なカーボンヒーターを使用 ○加熱効率が９６％以上 ○PID制御による±1℃の安定した温度制御 ○起動から使用温度まで120秒以内の昇温 ○幅広い使用流量・温度に対応 ○流量変化に対応した温度調整が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
純水加熱器の製造ならエイディーディーへ！特殊仕様ご相談ください。
使用温度範囲：25℃～50℃ ヒーター容量：10kw×2系列 外形寸法：W400×D200×H1110(mm) ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
超高速昇温、節水、節電の次世代を見据えたは超純水加熱装置
Trebor社超純水加熱装置QUANTUM NXTシリーズは半導体製造ラインでの洗浄用の超純水を加熱する為の装置です。 特許取得済みのメーカー独自の加熱手法により業界屈指の超高速昇温/降温を可能としている為、設定温度までは約40秒で到達、到達後は流量0で最小限の電力で温度が維持できるので節水、節電もでき環境を配慮したエコ・イノベーションな超純水加熱装置です。
シースヒーター管表面が平滑なため耐食性にも優れています。
ヒーターはLADを採用。不純物含有の付着による薬液の成分変化を極小にしました。金属粉含有の不純物付着によるサビの発生を極小にしました。
前工程・後工程も含めてトータルエンジニアリング！ニーズに適したシステムをお届け
三造パワーエレクトロニクス株式会社では『誘導加熱装置』を 取り扱っております。 豊富な経験を生かし、耐久性・信頼性の高い加熱システムを設計。 また、加熱機・高周波電源・材料供給装置等すべて当社にて製作し、 バランスの取れた加熱システムを製作します。 標準機から特殊機まで幅広い対応で製品をお届けいたします。 【ラインアップ】 ■コンパクトビレットヒータ ■ビレットヒータ ■バーヒータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
