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豊富な納入実績を持つ超純水加熱装置の決定版。
『AQUARIUS CDIシリーズ』は、Teflon材またはPVDF材の インラインヒーターが内蔵された温水器です。 加熱前後での純度や比抵抗値は維持した温純水を供給します。 温純水の利用によりプロセス溶媒の消費量を低減し、洗浄品質向上に貢献。 酸・アルカリなどのケミカル溶媒加熱にも利用可能であり、 その信頼性、品質により業界全般で広く採用されています。 【特長】 ■連続大流量の高純度な温純水供給 ■溶解力の増強 ■乾燥時間の短縮 ■接液部はTeflonとPVDF仕様 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
加温する液体成分に影響を及ぼさない製品となっています。
本装置は、シリコンウェハー，液晶ガラス基板，ハードディスク基板、及び各種部品等の洗浄で使用される超純水をカーボンヒーターにより加温する装置です。 【特徴】 ○純水加熱容器は石英ガラスを使用 ○純水接液配管部はフッ素樹脂を使用 ○純水加熱に好適なカーボンヒーターを使用 ○加熱効率が９６％以上 ○PID制御による±1℃の安定した温度制御 ○起動から使用温度まで120秒以内の昇温 ○幅広い使用流量・温度に対応 ○流量変化に対応した温度調整が可能 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
超高速昇温、節水、節電の次世代を見据えたは超純水加熱装置
Trebor社超純水加熱装置QUANTUM NXTシリーズは半導体製造ラインでの洗浄用の超純水を加熱する為の装置です。 特許取得済みのメーカー独自の加熱手法により業界屈指の超高速昇温/降温を可能としている為、設定温度までは約40秒で到達、到達後は流量0で最小限の電力で温度が維持できるので節水、節電もでき環境を配慮したエコ・イノベーションな超純水加熱装置です。
