1～3 件を表示 ／ 全 3 件
エッチング、スパッタリング、CVDで活躍する高周波電源
トルンプの高周波電源は、半導体製造のエッチングやスパッタリングをはじめ、様々なアプリケーションで幅広く使われています。 独自の技術が生み出す高精度な出力制御、高い出力効率と堅牢な設計によりエンドユーザー様における高いスループットや運用コストの削減、省エネを安定的にサポートします。 トルンプは高周波電源にとって欠かせない整合器（マッチボックス）も揃えており、高度なアルゴリズムとプロセスモニターが可能なデジタル制御プラットフォームによって、迅速なインピーダンス整合が可能です。
![高周波電源_整合器_03_RF3012G2[1].png](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/7c8/2001552381/IPROS8789619708599657020.png?w=280&h=280){kind=small}
![高周波電源_整合器_04_RF3024G2[1].png](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/7c8/2001552381/IPROS6402033335166604619.png?w=280&h=280){kind=small}
![高周波電源_整合器_09_Match[1].png](https://image.mono.ipros.com/public/product/image_sub/7c8/2001552381/IPROS2632950409757770880.png?w=280&h=280){kind=small}
DC電源とRF電源の重畳に対応タイプの自動整合器です
型式 NM3AD-XX 周波数 13.56MHz 通過電力 3KW 入力インピーダンス 50Ω 不平衡 整合モード 自動又は手動切り替え 入力コネクタ HNコネクタ 出 力 ブスバー 冷 却 水冷/空冷併用 整合時間 プリセット使用時0.5Sec以内 外部アナログI/O 0～10.0V 外部シリアル通信 RS232C/422/Device Net 電 源 AC84V～220V/DC24V（80VA)
超小型高周波電源に対応した自動整合器です
周波数 13.56MHz～27.12MHzの任意の周波数 冷却方式 強制冷却 外形寸法 参考外形 W140×D155×H110mm
