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高度な分子量制御を行い、金属含有量を100ppb以下のレベルまで低減した、フォトレジスト用樹脂のご紹介
フェノール樹脂の合成技術を応用しフォトレジスト用樹脂を製造しております。 当社のフォトレジスト用樹脂は非常に高度な分子量制御を行い、お客様の要求に応じたさまざまな樹脂を的確に再現性良く製造することが可能です。 さらに100ppbを大幅に下回る低メタル化を実現しております。 ※関連リンク先から資料のダウンロードが可能です。
メタルケアで半導体の微細化を支えています！
旭有機材は、独自のメタル除去技術と徹底した品質管理によって、ppb～pptレベルのメタルケア製品を安定供給いたします。 また、30年間培ってきたフェノール樹脂合成技術を応用し、合成から精製まで幅広く対応。 品質保証につきましても、パイロット製造品から行い少量でも対応いたします。 【 特長 】 ■製造時には金属の混入を防ぐため、フッ素樹脂ライニング釜を使用 ■厳格な従業員教育のもと、金属含有量をppb～ppt（10億分の1～100億分の1）レベルで管理 ■独自の技術開発により、アルカリ溶解速度、分子量、分散度をもコントロール ※詳細は関連リンク先から資料のダウンロードが可能です。
