高周波加熱式拡散接合炉
高周波加熱式拡散接合炉
【用途】 30パイまでの各種金属類の拡散接合に使用。 【仕様】 加圧能力:1Torr 常用圧力:10-4Pa 常用加熱温度:1300℃ 加熱長:30パイx100mm 高周波電源:20KW
- 企業:アトーテック 株式会社
- 価格:応相談
1~7 件を表示 / 全 7 件
高周波加熱式拡散接合炉
【用途】 30パイまでの各種金属類の拡散接合に使用。 【仕様】 加圧能力:1Torr 常用圧力:10-4Pa 常用加熱温度:1300℃ 加熱長:30パイx100mm 高周波電源:20KW
ボイドレス、フラックスレスリフローに対応したバッチ式の真空リフロー炉です。開発から量産に対応した各種ラインナップを提供します。
従来の常圧リフローでは、はんだ内に残るボイド領域が20%程度あるため、接合強度の劣化を招きます。セントロサーム社(ドイツ)のバッチ式真空リフロー炉「c.VACUNITEシリーズ」は、真空を用いることでボイド領域を2%未満に低減することが可能です。また、100%水素やギ酸などの還元効果ガスを用いることで、フラックスレスリフローに対応可能です。オプションとして、MWプラズマを用いた接合表面のプラズマクリーニングにも対応しております。
医療用X線、非破壊検査用装置、質量分析装置などで活躍中
■モリブデン‐ルテニウムろう材開発 このろう材は融点が高いため、高融点金属同士の接合(ろう付け)に使用されますが、市販されていないため、独自に材料を調達する必要がありました。 作製したろう材を用い、タングステン同士のろう付けを試みました。 ※写真左側は多孔質タングステンです 写真1:CCDカメラによって観察。接合部に大きな隙間が生じてしまった失敗例です。実際のところ、なかなかうまく出来ませんでした。 写真2:成功例!(写真中央が接合部) 写真3:SEMによる反射電子像です。ろう材によって隙間なく接合できていることが分かります。 写真4:元素マッピング。接合部が明確になりました。左側は多孔質のためか、ろう材が拡散しているのでしょうか。 ◆弊社では最大【2700℃】の超高温熱処理炉を保有。 さまざまな雰囲気に対応ができる多数の炉を持ち、ご要望に合わせ熱処理炉を駆使したソリューションをご提案しております。 ・コーティング ・ろう付け ・機能性材料開発 ・焼結 ・残留応力除去 ・結晶粒サイズ制御 ・酸化除去 ・コンタミネーション除去 ・脱ガス ・脱脂 …など
塩素炉/カーボン炉/メタル炉/マルチ雰囲気炉/管状炉の“できる雰囲気・到達温度・向いている用途"を超かんたん解説
当社で取り扱う、5つの炉の雰囲気対応・温度めやす・代表用途について ご紹介いたします。 Cl2/HClなどハロゲンに対応した「塩素炉」をはじめ、極低酸素×高温の 「カーボン炉」、クリーン&俊敏な「メタル炉」、湿潤も含む幅広さがある 「マルチ雰囲気炉」、まず“当たり"を見る小スケールの「管状炉」を ラインアップ。 当社では、テスト機もご用意いたしております。 また、小型機以外にも量産スケールの炉も製作実績があります。 【特長】 ■塩素炉 ・対応雰囲気:Cl2/HCl/不活性(N2・Ar) ・温度:〜1800℃級(機種・材質による) ・主な用途:塩素化/塩化揮発/ハロゲン化精製/表面改質 ■メタル炉 ・対応雰囲気:真空/空気/N2・Ar/少量H2 ・温度めやす:〜1800℃前後(機種による) ・主な用途:焼結・拡散接合/酸化・還元アニール/金属・セラミックスの結晶化 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
セラミックスと金属の熱膨張差を制御しながら、クリーン雰囲気で強固に封着
当社で取り扱う「メタル炉」は、セラミックスや金属の封着・ろう付け・拡散接合に適した高純度雰囲気炉です。 微量O2/H2O/炭化水素は、濡れ性・界面反応・気密性に影響します。 メタル炉は高真空雰囲気とMo/W系金属ホットゾーンにより、炭素・有機由来の汚染を抑えた熱処理が可能です。 薄膜・電極・光学部材の高純度アニール、封止処理にも適用できます。 【特長】 ■ 高真空雰囲気で残留ガスの影響を低減 ■ 金属ホットゾーンによりクリーン雰囲気を維持 ■ ±1℃以内の温度均一性と長期安定制御 ■ 金属治具や荷重機構との組合せが可能 ■ 試料の小型化・局所加熱試験にも対応 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
オールメタル構成で、カーボン・炉材由来の汚染を抑えた高純度熱処理
当社で取り扱う「小型メタル炉」は、カーボンコンタミを嫌う材料の高純度焼成・アニールに適した電気炉です。 オールメタル構成により、黒鉛材や有機系断熱材に由来する炭素汚染を抑え、色味・表面状態・特性の再現性向上に貢献します。 ~1800℃の安定運転に対応し、高温焼成、拡散接合、時効処理、表面改質などに使用できます。 大学・研究室など設置スペースが限られる環境でも導入しやすいコンパクト設計です。 【特長】 ■ オールメタル構成でカーボンコンタミを低減 ■ ~1800℃の高温処理に対応 ■ N2パージ・置換により低酸素雰囲気を再現 ■ 色味・表面状態・物性の再現性向上に貢献 ■ 研究室・試作環境にも設置しやすい小型設計 ※詳しくは資料ダウンロードまたはお問い合わせください。
高真空・高純度雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス・酸化防止・安定化をサポート
分析評価では、サンプル表面の酸化、吸着水分、残留ガス、有機成分、不純物汚染が測定結果に影響する場合があります。 特に、高精度分析や表面分析、材料評価を行う前には、分析用サンプルを高真空・高純度雰囲気下で熱処理し、状態を安定化させることが重要です。 弊社のメタル炉は、炉内を金属部材で構成しているため、断熱材由来の粉じんや不純物の影響を抑えやすく、他炉種と比べて清浄な高純度雰囲気での焼成・熱処理に適しています。 また、一般的な断熱材炉に比べて高真空まで減圧しやすく、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス、酸化防止、還元処理、アニール、熱処理条件の検討に対応可能です。 ■ 分析前にサンプルを高真空で脱ガスしたい ■ 表面酸化や吸着水分の影響を抑えたい ■ 高純度雰囲気で分析用試料を熱処理したい ■ 真空・N2・Ar・H2雰囲気でサンプル前処理を行いたい ■ 既製炉では真空度、清浄度、炉内寸法が合わない