高真空・高純度雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス・酸化防止・安定化をサポート
分析評価では、サンプル表面の酸化、吸着水分、残留ガス、有機成分、不純物汚染が測定結果に影響する場合があります。 特に、高精度分析や表面分析、材料評価を行う前には、分析用サンプルを高真空・高純度雰囲気下で熱処理し、状態を安定化させることが重要です。 弊社のメタル炉は、炉内を金属部材で構成しているため、断熱材由来の粉じんや不純物の影響を抑えやすく、他炉種と比べて清浄な高純度雰囲気での焼成・熱処理に適しています。 また、一般的な断熱材炉に比べて高真空まで減圧しやすく、真空・N2・Ar・H2などの雰囲気で、分析前サンプルの脱ガス、酸化防止、還元処理、アニール、熱処理条件の検討に対応可能です。 ■ 分析前にサンプルを高真空で脱ガスしたい ■ 表面酸化や吸着水分の影響を抑えたい ■ 高純度雰囲気で分析用試料を熱処理したい ■ 真空・N2・Ar・H2雰囲気でサンプル前処理を行いたい ■ 既製炉では真空度、清浄度、炉内寸法が合わない
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基本情報
【特長】 ■ 高真空からN2・Ar・H2などの雰囲気まで対応 ■ 金属炉内構造により、高純度・清浄雰囲気での熱処理が可能 ■ 他炉種に比べて高真空まで減圧しやすい構造 ■ 分析用サンプルの脱ガス、酸化防止、安定化処理に対応 ■ Mo・Wなどの金属ヒーターにより清浄な高温雰囲気を維持 ■ 炉内寸法、ガス系統、排気系、安全対策をカスタム設計 【対応処理】 ■ サンプル前処理 ■ 脱ガス ■ 酸化防止 ■ 還元処理 ■ アニール ■ 高真空熱処理 ■ 雰囲気熱処理
価格情報
【このような課題に】 ■ 分析前のサンプルを高真空で前処理したい ■ 吸着水分、残留ガス、有機成分を除去したい ■ 表面酸化や汚染を抑えて分析精度を高めたい ■ 真空・不活性雰囲気・還元雰囲気で熱処理したい ■ 既製炉では真空度、清浄度、雰囲気条件が合わない ※詳しい仕様については資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
納期
※※装置仕様によって納期が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
用途/実績例
【応用例】 ■セラミックス-金属の封着/ろう付け/拡散接合 ■薄膜・電極・光学部材の高純度アニール/封止 など ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ(3)
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当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。










