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照射面形状：インライン照射型！長寿命・低消費電力のUV-LED照射装置
UV-LED照射装置は、ランプに比べ、長寿命・低消費電力であり、ワークへの熱によるダメージを与えることなく処理できることが特徴の装置です。 また、従来のスポットタイプでは不可能な大型照射面の照射を可能にします。 株式会社クォークテクノロジーでは面照射型、インライン照射型、線照射型の3タイプのUV-LED照射装置を取り揃えております。 その他にもお客様の用途に合わせてカスタマイズし、ご希望に合った照射装置をご提供できます。 【UV-LED照射装置の特徴】 ○照射ムラが軽減される ○ワークへの温度上昇がなく低温硬化が可能 ○自由度のある照射装置の設計が可能 ○冷却ユニット内蔵による照度の安定化 ○光ファイバなど伝送材料を使わない直接光源 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
従来の水銀ランプよりエネルギーが高い波長の真空紫外光を発生！
株式会社クォークテクノロジーのエキシマ照射装置は、高光子エネルギー 真空紫外光源のエキシマランプによる有機物洗浄や、表面改質に必要な 励起酸素原子を発生させ、半導体製造装置をはじめ各種フィルム表面改質装置 などに利用されています。 準単色光でエネルギー変換効率が良く、他の放電灯のような不要な可視光、 赤外光が比較的少なく、ワークに対して熱によるダメージを与えません。 また、瞬時の点灯点滅ができ、この際エキシマランプにダメージを与えません。 その他、高効率洗浄により、コンベア搬送中の照射も可能です。 エキシマ照射装置は、特長の異なるフラットタイプも取り扱っておりますので、 用途に合わせてお選び下さい。 【特長】 ■準単色光 ■波長172nm ■瞬時点灯点滅 ■コンベア搬送中照射も可能 ■ランプ本数低減、付帯設備不要 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大学・研究・開発に好適！ウェハ洗浄をはじめ、マスク洗浄や実験機にご活用いただけます
『QEV Series』は、低価格でカスタム性の高いチューブタイプ エキシマランプです。 バッチ照射用ユニットとスキャン照射用ユニットをご用意。 波長は172nm、分布は±15％となっております。 ウェハ洗浄をはじめ、マスク洗浄や実験機にご活用いただけます。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【バッチ照射用ユニット 仕様（一部）】 ＜QEV-160＞ ■波長：172nm ■ユーティリティ：N2／冷却水／AC100V ■分布：±15％ ■照射開口：176×176 ■対応ワークサイズ：6inch ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
低温処理、低電力、長寿命！UV-LED照射装置！
水銀ランプやメタルはライドランプなどと比べ、長寿命・低消費電力であり、低温処理が可能です。
エキシマ光で効率よく表面洗浄、改質！
高光子エネルギー真空紫外光源のエキシマランプによって有機物洗浄、表面改質を低温で行うことができます。 フラットタイプは面自体が発光する高出力、高密度高分布モデルです。
照射面形状：面照射型！長寿命・低消費電力のUV-LED照射装置
UV-LED照射装置は、ランプに比べ、長寿命・低消費電力であり、ワークへの熱によるダメージを与えることなく処理できることが特徴の装置です。 また、従来のスポットタイプでは不可能な大型照射面の照射を可能にします。 株式会社クォークテクノロジーでは面照射型、インライン照射型、線照射型の3タイプのUV-LED照射装置を取り揃えております。 その他にもお客様の用途に合わせてカスタマイズし、ご希望に合った照射装置をご提供できます。 【UV-LED照射装置の特徴】 ○照射ムラが軽減される ○ワークへの温度上昇がなく低温硬化が可能 ○自由度のある照射装置の設計が可能 ○冷却ユニット内蔵による照度の安定化 ○光ファイバなど伝送材料を使わない直接光源 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
照射面形状：線照射型！長寿命・低消費電力のUV-LED照射装置
UV-LED照射装置は、ランプに比べ、長寿命・低消費電力であり、ワークへの熱によるダメージを与えることなく処理できることが特徴の装置です。 また、従来のスポットタイプでは不可能な大型照射面の照射を可能にします。 株式会社クォークテクノロジーでは面照射型、インライン照射型、線照射型の3タイプのUV-LED照射装置を取り揃えております。 その他にもお客様の用途に合わせてカスタマイズし、ご希望に合った照射装置をご提供できます。 【UV-LED照射装置の特徴】 ○照射ムラが軽減される ○ワークへの温度上昇がなく低温硬化が可能 ○自由度のある照射装置の設計が可能 ○冷却ユニット内蔵による照度の安定化 ○光ファイバなど伝送材料を使わない直接光源 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
大学・研究・開発に好適！高照度一括照射可能なエキシマ照射ユニット
『SPC Series』は、フラットタイプのエキシマUV照射装置です。 照度分布を従来の±15％から±5％まで向上。高照度一括照射可能な エキシマ照射ユニットとなっております。 ウェハ洗浄をはじめ、露光光源やコータ前処理、レジスト改質などに ご活用いただけます。 【特長】 ■照度モニター機能 ■フィードバック制御 ■真空対応可能 ■照度分布を従来の±15％から±5％まで向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高照度・高分布の搬送処理用ユニット！大学・研究・開発でご活用いただけます
当社で取り扱う、エキシマUV照射装置『OVL Series』をご紹介します。 高照度・高分布の搬送処理用ユニット。照度モニター機能を搭載しており、 フィードバック制御が可能です。 ガラス基盤洗浄をはじめ、コーティング前処理や張り合わせ前処理、 ポリマ表面改質にご活用いただけます。 【特長】 ■照度モニター機能 ■フィードバック制御 ■搬送処理に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
長寿命！低消費電力！ワークへの熱によるダメージを与えることなく処理が可能！
株式会社クォークテクノロジーのUV-LED照射装置は、ランプに比べ、寿命が 長く、消費電力が低く、ワークへの熱によるダメージを与えることなく処理 できる装置です。 照射ムラが軽減され、冷却ユニット内臓により照度が安定し、ワークへの 温度上昇がなく低温硬化が可能です。 また、自由度のある照射装置の設計が可能で、従来のスポットでは不可能な 大型照射面の照射を可能にします。 【特長】 ■照射ムラが軽減 ■冷却ユニット内臓 ■伝送材料を使わない直接光源 ■低電力、長寿命 ■メンテナンスフリー ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
