有機溶剤系スプレー現像装置 WSD-150
装置寸法：560W×850D×1300H
基板をマニュアルでチャックにセットし、スプレー現像、リンス、スピン乾燥します。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
現像装置×株式会社カナメックス - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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枚葉スピン現像装置 WSD-200CBT/WSD-300CBT
装置寸法：1200W×1100D×2000H(200CBT)/1500W×1100D×2000H(300CBT)
基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
有機溶剤系スピン現像装置 WSD-200T
装置寸法：1700W×1300D×1400H
基板をマニュアルでチャックにセットし、パドル現像、リンス、スピン乾燥します。 本体側面にキャニスター缶を収納可能。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
枚葉自動スピン現像装置
装置寸法：2000W×1200D×2000H (200WCBT)/2000W×1500D×2000H (300WCBT)
セットをローダーにセットし、クリーンロボットにて基板の搬送を行い、パドル現像、リンス、スピン乾燥する枚葉自動スピン現像装置です。本体側面に薬液供給タンク又は廃液タンク(20L)を2本内蔵可能です。
- 企業：株式会社カナメックス 厚木工場
- 価格：応相談
