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膜×テクノクオーツ株式会社 - メーカー・企業と製品の一覧

膜の製品一覧

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耐プラズマ表面処理 CVDイットリア

CVDイットリアは耐プラズマ性に優れた高純度保護膜です。

「CVDイットリア」は、耐プラズマ性に優れた透明性保護膜です。 密着性が高い緻密膜ですので、プラズマ処理プロセス(F系、Cl系) で使用されるウィンドウ類の保護膜として有効です。

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