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迷光、散乱光を紫外、可視、赤外にわたって99％以上除去、吸収いたします（波長依存あり）。
アクター社は紫外、可視、赤外光波長帯で99％以上の光吸収を実現する真空成膜技術を開発いたしました。本技術により、実質的にどんな基板材料にも光吸収膜の成膜が可能となり、プロジェクター、顕微鏡、分光装置、レーザー加工機、赤外線検知素子など様々な光学製品の迷光（散乱光）を除去できます。 また、表面構造をナノスケールで制御することで、太陽熱吸収に最適化されたスペクトル特性と耐熱性を併せ持つ理想的な太陽熱選択吸収材の開発にも成功しました。また輻射熱の吸収にも大変優れており、画期的な輻射熱吸収膜として、様々な熱環境下で利用されております。環境に優しい技術で、光、電気、宇宙、エネルギ―など幅広い分野の企業で使用されています。
Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージング時間を大幅に短縮できます。透過率特性も優れています。
半導体製造工程の一つであるドライエッチングプロセスにおいてウェハ処理を行うと、プロセスガス自体からの生成物やエッチング時の副生成物がチャンバ内壁やチャンバ内のパーツ表面に付着するといった現象が発生すします。これら堆積物の付着によってプロセスの初期と処理後のチャンバ内表面状態が変化することにより、プロセス条件の変動が発生します。このようなプロセス条件の変動を緩和するため、従来技術では製品処理前に類似ウェハを処理して堆積物をコーティングすることによってチャンバ内表面状態を安定させる手法（エージング）が適用されていました。Y5O4 F7膜はY2O3膜に比べてプラズマ処理前後の表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージング時間を大幅に短縮し、装置稼働時間を上げることに寄与します。
迷光、散乱光を紫外、可視、赤外にわたって99％以上除去、吸収いたします（波長依存あり）。
アクター社は紫外、可視、赤外光波長帯で99％以上の光吸収を実現する真空成膜技術を開発いたしました。本技術により、実質的にどんな基板材料にも光吸収膜の成膜が可能となり、プロジェクター、顕微鏡、分光装置、レーザー加工機、赤外線検知素子など様々な光学製品の迷光（散乱光）を除去できます。 また、表面構造をナノスケールで制御することで、太陽熱吸収に最適化されたスペクトル特性と耐熱性を併せ持つ理想的な太陽熱選択吸収材の開発にも成功しました。また輻射熱の吸収にも大変優れており、画期的な輻射熱吸収膜として、様々な熱環境下で利用されております。環境に優しい技術で、光、電気、宇宙、エネルギ—など幅広い分野の企業で使用されています。
大気中600℃以上の高耐熱膜！金属部品からの放出ガスを低減させる特性をもった被膜です
『AiTiN膜』は、当社独自の成膜プロセスによって開発した高輻射膜です。 母材との密着強度は30N以上の強度を持ち、大気中で600℃以上の高耐熱膜です。 耐酸化性に優れ、高輻射率（ε＞0.6）を有した真空中における金属部品からの 放出ガスを低減させる特性をもった被膜です。 【特長】 ■硬く（Hv1 200以上）耐摩耗性、耐スクラッチ性に優れている ■母材との密着性（30N以上）が高い被膜 ■高耐熱膜（600℃以上）であり耐酸化性に優れている ■高輻射率（ε＞0.6）を有し真空中における放出ガスを低減させる ※詳しくはPDF資料や関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
DLCコーティング*をベースに各種特性を付与した当社オリジナルの表面処理膜です
『JCコート(TM)』は印刷用マスクや食品製造機器、産業機器に ご使用いただいている製品です。 電子部品製造で培ってきた表面処理技術をもとに誕生。 *DLCコーティング…ダイヤモンドライクカーボンの略、一般的な特長は、硬質、潤滑性、耐摩耗性、化学的安定性、表面平滑性、離型性など。機械材料、工具、電子機器の低摩擦・耐摩耗コーティングとして適応範囲が大きく拡大している。 ステンレスなどの導電性基材全般に対応可能ですが、不向きなものもございます (亜鉛、銅など)。エンボス加工品やパンチング板などへの成膜も可能ですので、 その他の母材につきましては、ご相談くださいませ。 下記の関連リンクより、当製品の効果を動画でご紹介しております。 【製品リスト(抜粋)】 ■JCコート P(撥液) ・食品生産ライン、機器製造ラインパーツ等の洗浄性を改善させる 撥水撥油性コーティング ■JCコート PH(低凝着 耐摩耗) ・生産工程内トレイ・切断ブレードへの低凝着性・耐磨耗性コーティング ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
