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改善成功事例 事例3 有機材料開発用蒸着装置 KVD-OLED Evo.Cluster
◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。 しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、 問題が多々発生している。（搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが 早い・蒸着レートコントロールが困難など）そこで、コンパクトであるが、 最低限、既存装置の仕様を盛り込み、スペックを更にアップした装置が欲しい。
改善成功事例 事例4 有機EL成膜装置改造
◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、 その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。 また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いているが、 現状の真空槽を活用して、拡張性を増やし、色々な実験を行いたい。
蒸着装置をご検討中の研究者必見！ 有機蒸着と無機蒸着のどちらも網羅し、コンポーネンツガイドも掲載の一冊を進呈中です。
真空装置・低温機器をはじめとし、試作研究開発機器の設計・製造及び販売を行う北野精機では PVD装置を多数掲載した『PVD装置カタログ』を無料進呈中です！ 選定に役立つPVD装置コンポーネントガイドや、蒸着構成、機能構成など 蒸着装置をご検討中の研究者にぴったりな一冊です。 【掲載内容(一部)】 ■PVD装置コンポーネントガイド ■チャンバータイプ別仕様 ■蒸着構成／各蒸着源仕様 ■機能構成 マニピュレーター など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置
『KVD-OLED Evo.6』は、有機EL材料の塗布材料を目的とした OPV(有機薄膜太陽電池)用蒸着装置です。 有機材料の塗布工程は接続されているグローブボックス(MBRAUN)の中で 行い、搬送機構を用いて蒸着室内に基板を搬送し、電極を蒸着させる 一貫した装置となります。 グローブボックス（MBRAUN社製Labmaster）と接続でき、 ロードロック室間は手動の搬送機構で操作可能。 排気操作は前面のタッチパネル(PLC)により操作できます。 【特長】 ■排気シーケンスはPLCにて制御可能 ■金属の蒸着はボート式とルツボ式を標準搭載 ■膜厚計は3センサーを標準搭載 ■金属蒸着源はボート式とルツボ式を標準搭載 ■蒸着室はメンテナンスが容易な防着板を標準搭載 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
有機薄膜簡易蒸着装置
●特徴 ・小スペース、コンパクト設計 ・蒸着セル最大5本取付可能 ・基盤サイズ1〜3インチと幅広く選択可能 ・コンタミを防ぐ2重シールド構造 ・基盤加熱ヒターコントロール機構標準装備 ・メンテナンス・クリーニングの簡単設計
