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改善成功事例3 有機材料開発用蒸着装置 

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KVD-OLED Evo.Cluster

最終更新日:2010年09月13日

北野精機株式会社
北野精機株式会社
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改善成功事例 事例3 有機材料開発用蒸着装置 KVD-OLED Evo.Cluster

◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の大型のクラスター型蒸着装置を使用していた。 しかしながら、大型の為、巨大なスペースを使用してしまい、 問題が多々発生している。(搬送トラブル・蒸着セルの材料枯渇スピードが 早い・蒸着レートコントロールが困難など)そこで、コンパクトであるが、 最低限、既存装置の仕様を盛り込み、スペックを更にアップした装置が欲しい。

    蒸着装置
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改善成功事例3 有機材料開発用蒸着装置 

P4-2.jpg
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基本情報

◆◇◆対処法◆◇◆ 弊社、有機材料開発用蒸着装置(KVD-OLED Evo.Cluster)を提案した。 本装置は、コンパクト性を有し、排気系等の使用機器類は、高グレードな 物を選定し、ソフトウエア制御との組み合わせにより、蒸着の高精度化、 制御系の高効率化を最大限に図る様々な仕様を提案した。本システムは、 一からの設計製作になり、お客様の要望を全て盛り込む形を提案した。 ◆◇◆結果◆◇◆ 自動制御システムの確立により、生産効率が向上し、24時間フル稼働運転が 可能になった。(以前は、9:00〜17:00運用)また、省スペース性を重視し、 無駄の無い装置配置構成となっており、人間工学に基づいた取り扱いに 大変優れた装置となった。操作方法として、パソコンによる操作を採用することにより、 予約機能等を盛り込む事が可能となり、自由度が大幅に向上した。

価格情報

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納期

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用途/実績例

◆◇◆用途例◆◇◆ ・有機EL材料開発 ・有機TFT開発 ・有機薄膜太陽電池開発など

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北野精機の歴史は研究開発用精密機器の提供を通して、 常に最先端の研究分野に貢献し続けてきた軌跡でもあります。 1958年(昭和33年)11月 精密機器の設計・製造・販売会社として設立されて以来、 大学・官公庁の研究所をはじめ民間企業の基礎研究所に 向けた実験機器の開発・製造を手がけ、その優れた品質 と信頼性には高い評価をいただいています。 特に近年、新素材やナノテクノロジー、フラットパネル ディスプレー、高温超電導、太陽電池、原子力、宇宙開発 など産業分野に必要不可欠な超高真空・極低温技術に ついては、他社に先駆けていち早く取り組み、その実験 環境づくりに豊富な技術・ノウハウを蓄積し、高度な性能・ 機能を凝縮した機器の開発・提供に結び付けています。 北野精機では、つねにユーザーである研究者の方々と 密接に連携し、研究・開発目的を的確にサポートする 機器を設計・開発。 部品づくりから各種処理、組立、検査・テスト、装置立ち 上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質 の製品と良質な研究開発の実験環境を提供しています。

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