改善成功事例 事例4 有機EL成膜装置改造
◆◇◆経緯◆◇◆ これまで、他社製の有機EL成膜装置を使用していた。 しかし、使用上、下記の不具合点や要望が挙がっていた。 ◆マスクの交換機構が搭載されていない為、マスクを交換する際は、 その都度、大気開放する必要がある。その為、試料にダメージが生じてしまう。 また、一貫した真空環境ではない為、無駄な時間を費やしてしまう。 ◆有機蒸着室において、現状が最大6源の蒸着セルが付いているが、 現状の真空槽を活用して、拡張性を増やし、色々な実験を行いたい。
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◆◇◆対処法◆◇◆ ◆現状の2軸マニピュレーター(上下軸・回転軸)から、3軸マニピュレーター （上下軸・回転軸・マスク上下軸）への変更を提案した。 （現状の2軸マニピュレーターから新規3軸マニピュレーター製作へ） ◆下部フランジを弊社有機蒸着セル（KOD-Cell）が最大限設置可能な設計を提案した。 （有機蒸着セル：最大8源取り付け可能、金属蒸着セル：最大3源取り付け可能） ◆◇◆結果◆◇◆ ◆新規3軸マニピュレーターを設計製作した。それに伴い、 追加制御機能を新規 PLC制御パネルにて構築し、既存の制御系と ドッキングする事を可能にした。基板ホルダー及びマスクホルダーを 各々搬送可能になった事により、実験の拡張性が大幅に増え、 様々なパターンの実験が可能となった。 ◆新規下部フランジを設計製作した。外周に有機蒸着セル（KOD-Cell）を 8源、中央に3元金属蒸着セル（KMDT-Cell）がそれぞれ設置可能な構成を構築した。 これまで、有機蒸着のみの部屋であったが、金属蒸着も可能となり、 大幅に実験の拡張性が増え、様々な材料蒸着に可能とした。
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北野精機の歴史は研究開発用精密機器の提供を通して、 常に最先端の研究分野に貢献し続けてきた軌跡でもあります。 1958年（昭和33年）11月 精密機器の設計・製造・販売会社として設立されて以来、 大学・官公庁の研究所をはじめ民間企業の基礎研究所に 向けた実験機器の開発・製造を手がけ、その優れた品質 と信頼性には高い評価をいただいています。 特に近年、新素材やナノテクノロジー、フラットパネル ディスプレー、高温超電導、太陽電池、原子力、宇宙開発 など産業分野に必要不可欠な超高真空・極低温技術に ついては、他社に先駆けていち早く取り組み、その実験 環境づくりに豊富な技術・ノウハウを蓄積し、高度な性能・ 機能を凝縮した機器の開発・提供に結び付けています。 北野精機では、つねにユーザーである研究者の方々と 密接に連携し、研究・開発目的を的確にサポートする 機器を設計・開発。 部品づくりから各種処理、組立、検査・テスト、装置立ち 上げ、アフターサポートまでの一貫した体制で、高品質 の製品と良質な研究開発の実験環境を提供しています。
