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解析(ma) - 企業1社の製品一覧

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【顕微分光膜厚計】の膜厚解析

表面粗さを考慮した膜厚解析

サンプル表面に粗さがある膜の場合は、膜の理論反射率と異なるため解析が難しくなります。 OPTMでは粗さ層はEMA法(有効媒質近似法)でモデル化して評価することが可能です。

  • 分析機器・装置

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