【顕微分光膜厚計】の膜厚解析
表面粗さを考慮した膜厚解析
サンプル表面に粗さがある膜の場合は、膜の理論反射率と異なるため解析が難しくなります。 OPTMでは粗さ層はEMA法(有効媒質近似法)でモデル化して評価することが可能です。
- 企業:大塚電子株式会社
- 価格:応相談
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表面粗さを考慮した膜厚解析
サンプル表面に粗さがある膜の場合は、膜の理論反射率と異なるため解析が難しくなります。 OPTMでは粗さ層はEMA法(有効媒質近似法)でモデル化して評価することが可能です。