4インチ対応 ウェハーワックス貼付装置『TEC-1006ZR』
セラミックプレートへの多数枚ウェハー貼付作業を自動化に！
『TEC-1006ZR』は、4インチ対応のウェハーワックス貼付装置です。 ウェハーの貼付平坦度の安定化を実現。 多数枚ウェハーに対応できます。 2インチは最大10枚、3インチは最大5枚、4インチは最大3枚まで 貼り付けが可能です。 【特長】 ■ウェハーの貼付平坦度の安定化を実現（当社実績2.5um） ■多数枚ウェハーに対応可能 ■ヒーター、WAX塗布、プレス、冷却などの多彩なレシピに対応可能 ■条件の最適化により高スループットを実現 （当社実績：2インチ×8枚＝15分以内） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社くまさんメディクス MPSD事業部 大津第1工場
- 価格：応相談
