PFC・PFN除害装置 「クリーンエスPF・PFN」
低温600℃以下、高分解率99％以上でPFC・SF6・NF3を除害処理
PFC・PFN除害装置「クリーンエスPF・PFN」は、低温（600℃以下）、高分解率（99％以上）でPFC・SF6・NF3を除害処理します。フッ素分を化合物として固定しますので後段でのフッ素分の処理が不要です。取扱いの容易な除害カラム（反応器）交換方式で、除害に必要なユーティリーティは電気、空気、窒素だけです。
- 企業：株式会社ホクエツ
- 価格：応相談
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除害装置の製品一覧
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シリコン系ドライエッチング湿式廃ガス除害装置
クリーンエスＺ除害筒を機能付のBOX内に収納しシステムとして安全に使用
シリコン系ドライエッチング湿式廃ガス除害装置「クリーンエスF100」は、クリーンエスＺシリーズ除害筒を機能付のBOX内に収納し、システムとして安全に使用できます。（圧力検知バイパスシステム、色相検知システム、ヒーティングシステム、重量検知システム等）処理対象ガスは、HBr・HF・SiF4・SF4・HCL等です。薬液交換方式として薬液の破過検知はPHの連続測定により行い、終点に達した場合警報にてお知らせする終点（破過）検知システムを採用しています。セミオートマチック方式により工具を使用せず容易、安全に交換できます。抜き出した古い薬液は返却していただきますと責任をもって処理いたします。新しい薬液は返却いただいた容器に充填し送還する安全な交換システムです。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社ホクエツ
- 価格：応相談
