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GaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。
本装置は主にGaN製造プロセスの排ガス処理を目的とした除害装置です。 常温乾式除害と触媒分解式除害を効率よく組み合わせ、メンテナンス性向上、 ランニングコスト及び環境負荷の低減を可能に致しました。 【特長】 ・本装置はNH3を触媒分解により窒素と水素に分解、完全無害化します。 ・MOを含むGaN製造プロセス排ガス中の有毒ガスを効率的かつ安全に除害します。 ・酸化法によるNH3除害などで問題となるNOxの発生は全くありません。 ・火炎式（燃焼式）でない為、プロパン供給設備や排水設備は必要ありません。 （但し、A20分解筒は水冷式を採用しております。） ・除害後のガス中は除害対象ガス濃度ACGIH/TLV-TWA値以下を保証します。 ・吸着再生型は後処理筒の除害剤交換の必要がなく、ランニングコストの低減ができます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
低温600℃以下、高分解率99％以上でPFC・SF6・NF3を除害処理
PFC・PFN除害装置「クリーンエスPF・PFN」は、低温（600℃以下）、高分解率（99％以上）でPFC・SF6・NF3を除害処理します。フッ素分を化合物として固定しますので後段でのフッ素分の処理が不要です。取扱いの容易な除害カラム（反応器）交換方式で、除害に必要なユーティリーティは電気、空気、窒素だけです。
毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1項 対応可）
緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。 （高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御による省エネ設計 ●ガス漏洩信号など、外部信号入力により緊急運転切替 ●屋内仕様など様々なニーズに対応
クリーンエスＺ除害筒を機能付のBOX内に収納しシステムとして安全に使用
シリコン系ドライエッチング湿式廃ガス除害装置「クリーンエスF100」は、クリーンエスＺシリーズ除害筒を機能付のBOX内に収納し、システムとして安全に使用できます。（圧力検知バイパスシステム、色相検知システム、ヒーティングシステム、重量検知システム等）処理対象ガスは、HBr・HF・SiF4・SF4・HCL等です。薬液交換方式として薬液の破過検知はPHの連続測定により行い、終点に達した場合警報にてお知らせする終点（破過）検知システムを採用しています。セミオートマチック方式により工具を使用せず容易、安全に交換できます。抜き出した古い薬液は返却していただきますと責任をもって処理いたします。新しい薬液は返却いただいた容器に充填し送還する安全な交換システムです。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。現地での排気ガス成分分析による処理剤設計もします。
乾式除害装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。 トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排気ガスに対応できます。
排ガス除害装置
--------------------------------------------------------- 省エネモード装備、高負荷の300φライン対応の排ガス除害装置 --------------------------------------------------------- ＝特長＝ ●水、電気使用量を削減する省エネモードを標準装備でますますランニングコストを軽減！ ●300φライン及び液晶生産ラインにも対応 ●前背面の2方向メンテナンスでエリア利用率をUP！ ●装置稼動のまま人口スクラバーのメンテナンスを可能にし、生産装置のダウンタイムを減少！
99.9%以上の除害効率！漏洩事故現場で活躍する毒性ガス除害装置
当社では、毒性ガスの漏洩事故現場に素早く移動できる 『移動式除害装置』 を取り扱っております。 移動はトラック・フォーク等で行い、装備された発電機で運転可能です。 また、漏洩ガスはダクトホースから排風機で吸引。 除害後の排気は塔上部より大気放出される仕組みです。 【特長】 ■除害効率：99.9% 以上を吸収 ■平常時は保安用ガス吸収装置として使用 ■運転は発電機と工場電源の切替が可能 ■除害後の排気は塔上部より大気放出 ■漏洩ガスはダクトホースから排風機で吸引 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
