装置から排出される有害な排気ガス及びシリンダーキャビネットからのベントガスを安全に処理いたします。
乾式排ガス処理装置「ＭＡＫシリーズ」は、排気ガス中の有害成分を化学処理剤「トムクリーン」と反応させて処理いたします。 また、「トムクリーン」を処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排気ガスに対応ができます。
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基本情報
【幅広い対応範囲】 ・様々な種類の処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに最も適した処理剤の選定ができます。 【低圧損】 ・圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減いたします。 【安全性】 ・排気ガス部材質は、処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用しております。 ・排気ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での閉塞が起こりにくい構造となっています。 ・処理剤破過の検知窓のほかに、装置内圧力・処理剤温度等を常時モニタリングし異常発生時に警報を発報します。（一部オプション） ・シンプル設計で簡単操作
価格帯
納期
用途／実績例
下記装置及びガス種に対応いたします。 ・CVD：SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、TEOS、HCl、NH3 ・ALD：TMAl、TEMAHf、TEMAZr、TiCl4、TDMATi、DEZn、O3、NH3 ・Etching：F2、HF、SiF4、Cl2、BCl3、HBr、HCl ・インプラ：AsH3、PH3、BF3 ・チャンバークリーニング：F2、HF、SiF4、 ※上記以外のガスについてはお問い合わせください。
ラインアップ（5）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| MAK-025 | 最大流量40(L/min) |
| MAK-040 | 最大流量60(L/min) |
| MAK-060 | 最大流量90(L/min) |
| MAK-100 | 最大流量120(L/min) |
| MAK-550 | 最大流量250(L/min) |
カタログ（2）
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この製品に関するニュース（1）
企業情報
いま私たちの身のまわりには、ガスを使った製品や技術がたくさんあります。 たとえば半導体や太陽電池、液晶、光ファイバー、バイオテクノロジーなど。 これらのハイテクの進歩を、巴商会ではガスを通じて力強くサポートしてきました。 しかも運送から保安・管理まで、万全の体制で対応。お客様から高い信頼を得ています。
