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エアーレスメンテナンスフリーモデル！優れた防振性能を発揮する除振台
コイルバネとシリコーンゲルを組み合わせた除振要素により空気ばねと同等の除振性能を実現しました。 空気を入れる必要がなくエアーレス・メンテナンスフリーです。経験の乏しい使用者にも簡単に取り扱うことができます。 ハイコストパフォーマンス製品で、光学顕微鏡、硬度計、小型干渉計など装置の下に置くだけですぐに使うことができます。 【特徴】 ○エアーレスで設置が簡単 ○その上除振性能は空気ばねと同等レベルを達成 ○ユーティリティ不要 ○メンテナンス不要 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
アクティブ除振が必要な理由について、パッシブ除振台の限界・アクティブ除振台の原理、対応する弊社商品VAAVシリーズについて説明。
＝掲載内容＝ １．パッシブ除振台の限界 ２．アクティブ除振台の原理 ３．VAAVの特⻑ ４．VAAVの除振効果 (振動伝達率) ５．VAAVの制振効果 (ステージ移動荷重に対する定盤の応答) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
豊富な品揃えのVibration Control 製品群
●除振台 ●防振台 ●光学テーブル ●光学ベンチ ●ブレッドボードとグリッドプラットフォーム ●ハニカム、グラナイト＆剛性構造 ●除振装置 ●除振脚 ●架台 ●光学ワークステーション ●除振プラットフォーム ●レールおよびキャリア
●光学顕微鏡・電子天秤（精密天秤）などの振動対策に
優れた防振、衝撃吸収性能を持つノンブレンを除振部材に採用することで通常の防振ゴムでは得られない高い除振性能を達成しました。 光学顕微鏡、電子天秤（精密天秤）などの機器の下に置くだけですぐに使用可能です。外部からの振動対策に メンテナンスフリーで高いコストパフォーマンスを持つ除振台です。
設置環境・設置する機器の振動特性に合わせた設計・製作
超精密分野での生産・検査における機器やプロセスへの要求はますます厳しくなっています。床振動などの設置現場環境によっては、機器の性能を発揮することが困難となります。「除振台」は、振動を嫌う製造・検査装置の床振動対策としてご利用いただけます。設置される床振動と機器の仕様により、設計製作いたします。パッシブとアクティブタイプがございます。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
クリーンルーム用卓上除振台
■特長 ●ステンレス製搭載盤 搭載盤の表面はSUS304とし、クリーンルーム内部に塵を出す心配はありません。 また特殊制振構造により、優れた振動減衰特性を有しています。
卓上空気ばね式除振台
薄型軽量設計、クラス最高レベルの除振性能、そして機能美あふれるデザイン等、すべてのご要求を満足できる空気ばね式卓上形除振台の決定版です。(ジンバルピストンは装備されておりません。)
精密検査/測定装置に！お客様の設置環境に合わせた様々な種類をご用意しております
検査/測定分野では、ますます効率化と迅速化が求められ、外乱となる 振動に対して素早く除振をする技術が求められています。 この要望に的確に応えるため、特許機器の『OS FLOAT DESKシリーズ』は、 優れた除振性能を発揮。 また、お客様の設置環境に合わせた様々な種類をご用意しております。 高分解能検査や観察などの先端業務を当製品で確実にサポートします。 【特長】 ■優れた除振性能を発揮 ■設置環境に合わせたラインアップを用意 ■用途に合わせた特注仕様に設計変更可能 ■高性能使用のSSR除振機構により、超低固有振動数を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
6自由度アクティブ制御で低周波から高周波まで除振！クリーンルーム対応！
『δTA』は、特許機器の長年にわたる振動制御技術の蓄積により開発された卓上型アクティブ除振台です。 コンパクトなボディにもかかわらず精密機器の性能の妨げとなる低域から高域周波数の振動を制御。優れた除振性能を実現しました。 性能が発揮しづらい、高重心な装置や軽量装置でも優れた除振性能が確保できます。 【特長】 ■6自由度アクティブ制御 ■無負荷から周波数全域で除振 ■高重心でも安定した除振効果 ■オートレベリング機構で最適な制御バランスを自動調整 ■クリーンルーム対応 ■見やすいVFDパネルを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
より薄く、よりシンプルに！ご希望のサイズ、搭載重量に合わせた設計変更が容易！
除振性能を必要以上に求めると、フワフワと揺れすぎて使いづらくなり、 一方で減衰を加えすぎると、除振性能が損なわれます。 『OS FLOAT TABLEシリーズ』は、振動の絶縁と減衰のバランスを好適に セッティングし、使い易さと除振効果が適したレベルになるよう設計。 エアの供給方法は自動で供給してくれる自動レベリング方式と手動で 供給する手押しポンプ補給式の2種類をラインアップしています。 【特長】 ■使いやすさを追求したデザイン ■優れた除振性能を発揮 ■業界最高クラスの薄型設計 ■用途に合わせた特注仕様に設計変更可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全ての振動が気になるアプリケーションに！
Seismion社製のアクティブ除振台は、高感度のピエゾセンサー、非接触ボイスコイルアクチュエーターおよびノイズと歪みのないアナログ制御回路で設計されており、堅牢な電気的なフィードバック制御によって、特に低周波の振動に対し、優れた性能を発揮し、除振を中断、停止することなく、外乱、振動を処理します。８つのセンサーとメーカー独自のアクチュエーターのペアにより6DOF全てのモーションを制御します。半導体製造関連、顕微鏡、干渉計、3-Dプリンティング、他様々な計測用途、ラボでの実験用途等、様々な外乱、振動が問題となるアプリケーションに最適なアクティブ除振台です。
低コスト空気ばね式で精密除振を実現
■アクシスプロでサンプリングを行う際に効果を発揮します ■電源が不要ですので、設置に手間がかかりません ■手動ポンプによるエアー供給ですので設置が簡単です ■機器に合わせた最適な盤面サイズを提案しますのでご相談ください ※ 詳しくは以下関連リンク先からお問合せください。
半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート！荷重移動時の位置を制御
『e-Stable』は、リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が 普及しているアクティブ除振台です。 倉敷化工が新たに開発した制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を 追求しました。 ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■空圧制御タイプを大きく上回る制振性能を実現 ■生産性を大幅に向上 ■モーションフィードフォワード制御を搭載 ■ステージ移動の情報を事前に入力することで、より的確な位置制御が可能 ■高分解能な装置の性能を最大限に発揮 ■エアをほとんど消費しない ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
搭載荷重に合わせて優れた除振特性を持つ除振台を設計・生産します
１．優れた除振特性 ▶搭載荷重に合わせて優れた除振特性を設計可能 2．高い減衰性 ▶独自の減衰機構により高い減衰性を実現 ▶搭載装置上の振動も大幅に減衰することが可能 ３．形状自由度が高い ▶小型化も容易、用途に合わせたサイズ提案が可能 4．クリーンルーム対応仕様 ▶クリーンルーム環境下でも長年の実績有り 5．長寿命 ▶ばね＋独自の減衰機構により特性劣化が無く、半永久的に使用可能
外部からの衝撃振動の影響を抑制！ラスクの高い振動減衰性能で可能な理化学機器用除振台
ゴム並みに振動減衰性のある、多孔質鋳鉄ラスクを使用した除振台 設置台天面をラスク除振台で制振し、振動減衰速度を高め、外部からの振動の影響を低減します。 タッピングマシン（建築試験用加振機）で２Fコンクリート床を加振し、 卓上の一般除振台とラスク除振台を比較実験したデータを公開中。 一般除振台で電子天秤の測定数値が定まらない環境に対して、 （振動で数値が前後する） RASK除振台で振動で数値が前後せず定まり、計測可能な実験結果になります。詳しくは、http://www.rask.co.jp/RASK-zyoshindai.html を参照下さい。 技術的なお問い合わせはスイサクHPから、 ご購入はスイサクHPお問い合わせ、 又はアズワン様オンラインショップ（https://axel.as-1.co.jp/asone/g/NC4-4564-01/?q=%E9%99%A4%E6%8C%AF%E5%8F%B0）よりご注文頂けます。
長期使用テストと厳しい品質管理を実施！原子間力顕微鏡・走査プローブ顕微鏡に好適なデスクトップ除振台
『NANOシリーズ』は、小型で優れた除振性能を持つアクティブ制御の デスクトップ除振台です。 原子間力顕微鏡・走査プローブ顕微鏡に好適で、ご使用中の空気式除振台と 交換するだけで、外部振動に起因するノイズを大きく低減させることができます。 長期使用テストと厳しい品質管理を実施。 AC電源のみで稼働し、エアコンプレッサーは不要です。 【特長】 ■6軸除振構造で1Hz以上でアクティブ除振(200Hz以上はパッシブ) ■コンパクト設計、外部コントローラ ■簡単操作・自動ロードアジャスト ■AC電源のみで稼働し、エアコンプレッサーは不要 ■長期使用テストと厳しい品質管理を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
薄膜ダイヤフラムを用いたコンパクトなパッシブ除振台！！
"ゴム製品、流体制御機器、カーボンシャフトなどを手掛ける藤倉コンポジット。 独自の技術で製作される薄膜ダイヤフラムを用いたパッシブ除振台のご紹介です。 ■特徴 ・用途に合わせ自由に配置可能 小型の除振台でありながら、テーブルタイプではないため、お客様の用途に合わせ自由な配置調整が可能。 原理的に３点の位置調整を行いますが、用途に応じ脚数は複数配置可能です。 ・薄膜ダイヤフラムを用いたコンパクトなパッシブ除振台 シンプルな構造かつコンパクトでありながら、優れた除振性能を有します。"
使い易さを徹底的に追求した、顕微鏡の為の卓上除振台（防振台）です。
「ST-Xシリーズ」は、使い易さを徹底的に追求した、顕微鏡の為の卓上除振台（防振台）です。 新開発ST-Xユニット採用により、空気ばねに匹敵する性能を達成。 しかもメンテナンスフリー。 女性にも優しい、広いワークスペースと正しいアイポイントを実現します。 【特徴】 ○超低床20mmを実現 ○エアー不要。メンテナンスフリー ○軽量・コンパクト（5～6kg） ○空気ばねに匹敵する除振性能を発揮 ○搭載荷重は10～35kg ○最大40mmダウンの超低床 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
電源のみで使用可能！コストパフォーマンスモデルの除振台
卓上型アクティブ除振台ラインナップで、コストパフォーマンスに優れたSATシリーズ。 卓上型アクティブ除振台（防振台）SATシリーズは、サイズに合わせて2タイプをラインナップ。 エアー源不要！オートレベリングシステムが、水平レベルを保ちます。 正面パネルのふたつのボタンで簡単操作。 振動波形もLCDパネルで確認できます。 【特徴】 ○3軸6自由度アクティブ制御 ○オートレベリングシステムとロックシステムを搭載 ○高機能コントローラ内蔵 ○低周波の微振動に対する優れた除振機構 ○空気源は必要無し 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
国内最小クラスのサイズ300×400mmを実現。サイズだけではなく除振要素も最適化し、より軽量な機器への対応が可能。
除振台は、精密機器の精度に悪影響を及ぼす床振動などから精密機器を守るために使用します。鉄道や自動車、建築現場、建物内の機械設備など、私たちの周りには様々な振動源があります。顕微鏡や精密測定機はこれらの振動にさらされ、分解能や精度の低下といった問題を引き起こしています。お使いの精密機器がカタログ通りの性能を発揮できていないと感じていませんか。観察像がぶれる、計測値がばらつくなど、振動の影響の可能性があります。 モニター機をお貸出しすることができます。 【特徴】 ○300×400mmの小型卓上サイズ ○軽量な機器への対応が可能 ○弊社従来製品比 サイズ：40％小型化 重量：40～50％軽量化 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
優れた防振仕様で低価格！
ステンレス仕様の為クリンルームへの導入が可能な防振台です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
最高剛性により極小たわみ量を実現。 スチールハニカム定盤厚：510～610ｍｍ。
洗練されたボディ 定盤の側面にもステンレスを採用。 •理想的なコンプライアンス特性 共振を抑える「チューンド・マス・ダンピング」内臓 •パッシブ除振最高レベルの固有振動数 JVI独自の新型除振機構により、かつてないパフォーマンスを実現。 「除振部の共振点」･･･垂直方向:0.96Hz（除振開始：1.4Hz） 水平方向：1.2Hz（除振開始：1.7Hz） •共振倍率を極限まで制御 新型除振機構が振動エネルギーを熱エネルギーへ効率的に変換。 共振倍率は驚異の２以下。 •卓越した安定性 除振機構部のダンピング効果により、使用時も素早く安定。 地震に備えた低脚部・低重心設計。
顕微鏡、画像検査器、測定器など精密機器の『振動対策』に最適！
■振動を嫌う高倍率の顕微鏡、画像検査器、精密なはかり、粗さ計、粘度計など精密機器の振動対策に最適です。■床やテーブルから伝わる振動を減衰することにより、精密機器本来の性能を発揮させることができます。 ■装置搭載面の高さが床から１６ｍｍの低床除振台ＶＬＳ、御影石を使用した除振台ＶＰＧから選択できます。 ■使用しているマウントはエアー源が不要で、メンテナンスフリーです。 ■高さ調整ダイヤルの操作で水平調整が簡単にできます。
プラグ＆プレイでアクティブ除振エリアを創造し、ナノテクノロジーを振動から守ります。
■特長 ●6自由度アクティブ制御 ・6自由度アクティブ制御により全周波数で共振点が存在しない優れた除振効果が得られます。 ●LCDモニター標準装備 ・ばね上加速度時間波形表示。 ・ばね上加速度スペクトラム表示。
パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで！ナノ時代のファインテクノロジーを支える特許機器
当資料は、当社と共にV-ソリューションを追究する設計者のための テクニカルガイダンスです。 装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定をはじめ、 空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成やαシリーズのシステム構成、 振動制御技術バリエーションなどを掲載。 パッシブ除振からダブルアクティブ制御まで『精密振動系製品』を 多数紹介しています。 【掲載内容（抜粋）】 ■ナノ時代のファインテクノロジーを支える「精密振動系」 ■微振動環境をトータルサポートする特許機器 ■装置に合わせた微振動制御技術による除振系の選定 ■空圧アクティブ微振動制御ユニットの構成 ■空圧アクティブ微振動制御ユニットαシリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
小型AFMに最適な卓上型アクティブ除振台
超小型アクティブ除振台「Ｎａｎｏシリーズ」は、振動を常時センシングし電子制御により振動を制御する最先端の高性能除振台です。省スペースでどんな高級な空気ばね方式のパッシブ除振台よりもはるかに上回る除振性能。 “ナノサイズ以下”の超精密測定に最適な振動環境を実現します。超高性能センサー ６自由度アクティブ制御です。オプションで、防音、防震ＢＯＸも用意しております。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
高い除振性能、機能美のデザイン、優れたコストパフォーマンス、用途にあわせて選べる卓上形シリーズ！
当社で取り扱っている「卓上形除振台」についてご紹介いたします。 発塵対策仕様でクリーンルーム対応の「p-Stable 50Cシリーズ」や エアーダンパー防振ゴムを採用した「p-Stable 51シリーズ」など 4種の製品をラインアップ。 ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。 【ラインアップ】 ■p-Stable ・50Cシリーズ ・51シリーズ ・53 シリーズ ■e-Stable ・miniシリーズ ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
サーバーを振動から守り、安定稼働をサポートします
光・レーザー業界では、プロセスや加工において外部からの振動を除去するのが最重要課題です。 地震や外部からの振動は、装置の故障や加工プロセスのリスクを高めます。特に、精度を求められる光・レーザー業界においては、振動対策は不可欠です。 当社のパッシブ除振台は、サーバーを振動から効果的に保護し、安定稼働を支えます。 【活用シーン】 ・精密装置の除振 ・プロセスユニットの除振 ・振動の影響を受けやすい機器 【導入の効果】 ・振動による加工精度減のリスクを低減 ・加工精度を工場 ・システムの安定稼働を実現
微細加工の精度を向上させる、高性能除振台
半導体製造業界、特に微細加工においては、外部からの微小な振動が製品の品質に大きな影響を与えます。加工精度が少しでも狂うと、歩留まりの低下や不良品の増加につながり、大きな損失を招く可能性があります。当社のパッシブ除振台は、微細加工における振動問題を解決し、安定した生産体制をサポートします。 【活用シーン】 ・露光装置 ・走査型電子顕微鏡（SEM） ・原子間力顕微鏡（AFM） ・ウェーハプローバ 【導入の効果】 ・加工精度の向上 ・歩留まりの改善 ・不良品の削減 ・安定した生産性の確保
搭載荷重に合わせて優れた除振特性を持つ除振台を設計・生産
精密測定業界では、高精度な測定結果を得るために、外部からの振動を極力排除することが求められます。特に、微細な構造や動きを測定する際には、わずかな振動が測定結果に大きな影響を与え、精度の低下や誤った結果を招く可能性があります。当社のパッシブ除振台は、搭載荷重に合わせて最適な除振特性を提供し、測定環境の振動を効果的に抑制することで、測定精度の大幅な向上に貢献します。 【活用シーン】 ・精密測定機器（電子顕微鏡、走査型プローブ顕微鏡など） ・研究開発施設 ・品質管理部門 ・半導体製造プロセス 【導入の効果】 ・測定精度の向上 ・測定時間の短縮 ・不良品の削減 ・研究開発効率の向上
