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6自由度アクティブ制御で低周波から高周波まで除振！クリーンルーム対応！
『δTA』は、特許機器の長年にわたる振動制御技術の蓄積により開発された卓上型アクティブ除振台です。 コンパクトなボディにもかかわらず精密機器の性能の妨げとなる低域から高域周波数の振動を制御。優れた除振性能を実現しました。 性能が発揮しづらい、高重心な装置や軽量装置でも優れた除振性能が確保できます。 【特長】 ■6自由度アクティブ制御 ■無負荷から周波数全域で除振 ■高重心でも安定した除振効果 ■オートレベリング機構で最適な制御バランスを自動調整 ■クリーンルーム対応 ■見やすいVFDパネルを標準装備 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全ての振動が気になるアプリケーションに！
Seismion社製のアクティブ除振台は、高感度のピエゾセンサー、非接触ボイスコイルアクチュエーターおよびノイズと歪みのないアナログ制御回路で設計されており、堅牢な電気的なフィードバック制御によって、特に低周波の振動に対し、優れた性能を発揮し、除振を中断、停止することなく、外乱、振動を処理します。８つのセンサーとメーカー独自のアクチュエーターのペアにより6DOF全てのモーションを制御します。半導体製造関連、顕微鏡、干渉計、3-Dプリンティング、他様々な計測用途、ラボでの実験用途等、様々な外乱、振動が問題となるアプリケーションに最適なアクティブ除振台です。
長期使用テストと厳しい品質管理を実施！原子間力顕微鏡・走査プローブ顕微鏡に好適なデスクトップ除振台
『NANOシリーズ』は、小型で優れた除振性能を持つアクティブ制御の デスクトップ除振台です。 原子間力顕微鏡・走査プローブ顕微鏡に好適で、ご使用中の空気式除振台と 交換するだけで、外部振動に起因するノイズを大きく低減させることができます。 長期使用テストと厳しい品質管理を実施。 AC電源のみで稼働し、エアコンプレッサーは不要です。 【特長】 ■6軸除振構造で1Hz以上でアクティブ除振(200Hz以上はパッシブ) ■コンパクト設計、外部コントローラ ■簡単操作・自動ロードアジャスト ■AC電源のみで稼働し、エアコンプレッサーは不要 ■長期使用テストと厳しい品質管理を実施 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
電源のみで使用可能！コストパフォーマンスモデルの除振台
卓上型アクティブ除振台ラインナップで、コストパフォーマンスに優れたSATシリーズ。 卓上型アクティブ除振台（防振台）SATシリーズは、サイズに合わせて2タイプをラインナップ。 エアー源不要！オートレベリングシステムが、水平レベルを保ちます。 正面パネルのふたつのボタンで簡単操作。 振動波形もLCDパネルで確認できます。 【特徴】 ○3軸6自由度アクティブ制御 ○オートレベリングシステムとロックシステムを搭載 ○高機能コントローラ内蔵 ○低周波の微振動に対する優れた除振機構 ○空気源は必要無し 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
小型AFMに最適な卓上型アクティブ除振台
超小型アクティブ除振台「Ｎａｎｏシリーズ」は、振動を常時センシングし電子制御により振動を制御する最先端の高性能除振台です。省スペースでどんな高級な空気ばね方式のパッシブ除振台よりもはるかに上回る除振性能。 “ナノサイズ以下”の超精密測定に最適な振動環境を実現します。超高性能センサー ６自由度アクティブ制御です。オプションで、防音、防震ＢＯＸも用意しております。詳しくはカタログをダウンロードしてください。
半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポート！荷重移動時の位置を制御
『e-Stable』は、リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が 普及しているアクティブ除振台です。 倉敷化工が新たに開発した制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を 追求しました。 ご用命の際は当社へお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■空圧制御タイプを大きく上回る制振性能を実現 ■生産性を大幅に向上 ■モーションフィードフォワード制御を搭載 ■ステージ移動の情報を事前に入力することで、より的確な位置制御が可能 ■高分解能な装置の性能を最大限に発揮 ■エアをほとんど消費しない ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
