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回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。【アルバック／ULVAC】
HPS-Nシリーズは、アルバックの多年にわたる技術の蓄積と実績をもとに、回路の安定化と性能の向上を図ったエレクトロンビーム蒸発源対応の電源です。 EBガンコントローラEGC-10GSと組み合わせてご使用いただくことにより、光学薄膜用EBガンおよび、金属薄膜用EBガンの両方に対応することができます。 【ラインナップ】 ○HPS-600N ○HPS-1000N ○EGC-10GS 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。【アルバック／ULVAC】
DPG-10およびDPG-20は10kWおよび20kW出力のスパッタリング用DC電源です。 信頼性のある部品と回路で構成しております。 長年培ってきた電源のアプリケーションを含めたノウハウを設計に反映したプラズマ負荷に最適な信頼性の高い電源です。 【仕様】 ○入力電圧 AC208V ○変動範囲 AC187 ～ 229V ○相数、周波数 3相 50/60Hz ○入力接続部 コネクタ接続 ○入力容量 13.5kVA以下 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。【アルバック／ULVAC】
RFS-N シリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。 さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF 電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。 【ラインナップ】 ○RFS-1305N/1310N ○RFS-1330N/1350N ○MBX-1305N/1310N ○MBX-1330N/1350N 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック！高信頼性の成膜装置向け電源です【アルバック／ULVAC】
株式会社アルバックでは、プラズマ負荷に最適な DC電源「DPG-10/DPG-20」をはじめ、高効率RFアンプの搭載で 小型・軽量化を実現した RF電源「RFS-N シリーズ」など、 成膜装置向け電源を用途に合わせたラインナップで取り揃えております。 【ラインナップ】 ■DC電源「DPG-10/DPG-20」 ■EB電源「HPS-Nシリーズ」 ■RF電源「RFS-Nシリーズ」 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
