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被検物の表裏両面の像を顕微鏡の視野内で重ね合わせズレ量を比較観察し、メジャーリングシステムで測定できる顕微鏡。
被検物の表裏両面の像を顕微鏡の視野内で重ね合わせ、そのズレ量を比較観察し、 メジャーリングシステムで測定できる顕微鏡です。 対物レンズは観察倍率50倍から1000倍まで5種類で多種多様な試料に対応できます。 NIR可視/赤外透過タイプ。 カメラ位置合成装置もあります。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
大型ガラス基板を検査する顕微鏡で移動量はデジタルカウンタに表示。手動型と電動型がございます。
大型基板を検査する検査用顕微鏡です。 大型基板をステージに載せて移動して顕微鏡検査が出来ます。 移動量をデジタルカウンタに表示して、線幅や位置測定ができます。 手動型はハーフナット式でフリー移動とハンドル微動式です。 電動型はステッピング駆動がリモートでできます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
