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最大60“までのパネルを明視野透過・反射検査、微分干渉検査が電動レボルバとオートフォーカスで合焦画像検査ができます。
最大60”までのモジュール製品を顕微鏡検査する測長顕微鏡です。 延長鏡筒なので、手元で目視検査とモニタ検査ができます。 顕微鏡固定型なので延長鏡筒で目視検査・モニタ検査ができ、自動計測は ステージ移動量と合わせた自動計測ができます。 詳しくは、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
FPDパネル検査を1μmずつ読みとる目視検査とモニター検査ができ検査機。
ＦＰＤパネル検査用の顕微鏡です。 ガラスステージ上にパネルを載せて手元ハンドルでＸＹにスライド移動と微動ハンドルで位置決めできます。 デジタルカウンタで移動量を１μmで読取、目視検査とモニター検査ができ検査画像のファイルもできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
透過赤外光の照明調整でIR明視野・暗視野検査での検査ができます
半導体ウエハなど赤外透過材料の内部欠陥を非破壊で可視画像と赤外画像を同時にモニタ検査と上下のパターンズレや内部欠陥の検査ができます。 TSV貫通電極や積層ウエハの表面を可視でモニタとIRフォーカス調整でウエハ内部を同時モニタできます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。
