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板金比率を高め構造を単純化することで製造コスト削減！リンク式クリーンロボット
『PR2111-60』は、各種センサ装備のリンク式ダブルアームクリーンロボットです。 当社従来品に比べ、板金比率を高め、構造を単純化することにより、 製造コスト削減を実現します。 真空吸着式のセラミックスチャックを装備しています。 【特長】 ■全軸2相ステッピングモータ仕様 ■チャック：セラミックスチャック(真空吸着式) オプション ■各種センサ装備 ■板金比率を高め構造を単純化することにより、製造コスト削減 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！
『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用 ■アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ウエハの大気中搬送に対応！本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg
『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の ウェーハ搬送ロボットです。 前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0～180度)の動作が可能で ウエハの大気中搬送に対応。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境：クリーンルーム内(大気中温度10～35度、湿度70％RH以下) ■アーム：シングルアーム(材質：アルミ・CFRP・セラミック) ■可搬質量：3kg(ハンドベース・ハンド・ワーク重量の合計) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットSTCR4000Sシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。CEマーキング認証取得しました。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセンサ装備
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ■ウェハ保持：セラミックスチャックによる真空吸着 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■制御：RS232C通信制御またはパラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。
スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型クリーンロボットSSCR2090Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
