【資料】半導体産業におけるイオンクロマトグラフィーの応用
陰イオンの不純物を的確に測定できるツールとして応用されています!
半導体とは、室温で導体と絶縁体の中間として導電性を持つ材料です。 導電率を制御できる重要な技術と経済発展の2つの観点から、非常に大きな 市場であるコンピューター、携帯電話、人工知能などに使われており、 今日のさまざまな電子製品の中心的な材料として扱われています。 当資料では、半導体材料や半導体製造プロセスなどにおけるイオンクロマト グラフィーの応用例をご紹介。是非、ご一読ください。 【掲載内容(抜粋)】 ■半導体材料へのイオンクロマトグラフィーの応用 ・窒化ケイ素中のフッ素と塩素の定量 ・炭化ケイ素中の陰イオンと陽イオンの測定 ・酸化ケイ素粉末中の陰イオンの測定 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。