Lゲートバルブ SERIES 92.0
半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
- 企業:VAT株式会社
- 価格:応相談
更新日: 集計期間:2025年08月20日~2025年09月16日
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半導体や表面分析アプリケーションに使用できるポンプ/チャンバー用真空遮断バルブ
-パーティクル発生が少ない -メンテナンスが容易 -低コスト
開位置250℃、閉位置200℃までベーク可能で水分を飛ばし、超真空状態をキープ。直接板に焼きつくシールでゴミが溜まらない。
-潤滑剤不要 -DN 63-200用 Vulcanizedシール -メンテナンスが容易
開、閉位置において300℃までベーク可能で、過酷な環境にも対応
-頑丈で長いライフサイクル -閉位置で機械的ロック -耐・放射性能 -"Hard on hard"シーリング
過酷なプロセスおよび高温に対応した設計
-短い開閉時間による高いスループット -過酷なプロセスおよび高温用の設計 -バルブのフランジの面間距離が小さい
軽量コンポーネントによる高速動作が可能な大型角型ゲートバルブ
-軽量コンポーネントによる高速動作速度 -メンテナンス中のシステム停止時間なし -3つの異なるサービスポジション -メンテナンス中の安全モード
真空配管用成形ベローズです。JIS規格真空フランジ付きです。
『CEV-10000』は、中日技研工業株式会社が取り扱う、 真空配管用成形ベローズです。 真空用の柔軟なベローズにJIS規格の真空フランジ(VG・VF)が付いた製品です。 真空配管の寸法調整や誤差吸収、及び振動吸収用として使用できます。 【特長】 ■バネ定数の小さい柔軟なベローズ ■製作口径:20A~300A ■製作全長( L )はご指示ください。 ■繰り返し耐久寿命が長い製品です。 ■VG-VG型・VF-VF型も製作可能です。 ■呼び径350A以上も製作可能です。 ■フランジは回転型(ルーズ型)も製作可能です。 ■別作タイプはベローズの寸法が変更になる場合がございます。 【使用分野】 ■半導体、液晶、石油化学、建築、食品など ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
真空配管用成形ベローズをご紹介!これできる?に親切対応、いつものあれ!に迅速対応。
当社、中日技研工業株式会社は、ステンレス製フレキシブルチューブ製造メーカーです。 当カタログは、中日技研工業株式会社が取り扱う真空配管用成形ベローズをご紹介しています。 真空用の柔軟なベローズにJIS規格の真空フランジ(VG・VF)が付いた「CEV-10000」をはじめ、 パイプエンドが付いた「CEV-30000」等、多数ラインアップを掲載。 真空配管の選定に、是非ご活用ください。 【掲載内容】 ■成形ベローズ VG-VF CEV-10000 ■成形ベローズ NW(KF)CEV-20000 ■成形ベローズ パイプエンド CEV-30000 ■成形ベローズ ICF CEV-40000 ■成形ベローズ ISO MF CEV-50000 ■成形ベローズ ISO BT CEV-60000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
Max180℃まで任意の温度に設定可能!メンテナンス期間を大幅に延長できます
『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を特長としています。 【特長】 ■メンテナンス期間を大幅に延長できる ■内部と外部の温度を個々に設定可能 ■バルブを開閉作動する時に、パーティクルが発生しにくい無摺動構造 ■バルブクローズを保つラッチロック機構を装備 ■ゲートのOリング材質として、フッ素ゴム・KALREZ・Chemraz等を用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
回転させることでフランジ間の距離を正確に調整することが可能!
当社では、『中空型 直線導入機(ベローズ型)』を取り扱っています。 本体を回転させることにより、フランジ間の距離を 正確に調整することができます。 【特長】 ■ベローズ式の直線導入機 ■本体を回転させることにより、フランジ間の距離を 正確に調整することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ベローズ式直線導入機
IKCの直線(直進)導入機は、高信頼性の溶接ベローズを内蔵し長ストロークを可能にした直線(直進)導入機です。 また、各サイズ共に手動と自動のタイプをご用意致しました。
磁気結合式導入機
強力な永久磁石を用いた磁気カップリング方式の導入機構です。 回転導入と直進回転導入の2タイプをご用意しており、モーター駆動にも対応可能です。
開口幅400mm~2000mm!第六世代、第七世代基板に対応したゲートバルブを標準化!
FPD製造装置におけるガラス基板の大型化に対し、IKCは半導体製造装置、 真空機器などで培った技術と独自の技術開発により、これに応える 大型のゲートバルブを開発しました。 FPD製造装置向けとして各世代の基板サイズに対応したバルブをシリーズ化 しましたので紹介致します。 【ラインアップ】 ■KOSLARZE-II:昇降用シリンダとカムによって構成 ■NEW KOSLARZE:昇降用シリンダとシール用シリンダで構成 ■LINK:昇降用シリンダと弁板に組み込まれたリンク機構によって構成 ■SWELL GARIVA:昇降用シリンダと弁板内部に搭載されている シール用シリンダによって構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。