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精度の必要な試料の直進方向への移動・微調及び位置決めが可能！
『1軸型 直線導入機（ベローズ型）』は、マイクロメーターヘッドを 使用していますので、精度の必要な移動と微調に適しています。 ミニだからコンパクト、狭い場所での有効活用も可能です。 精度の必要な試料の直進方向への移動・微調及び位置決めができます。 【特長】 ■マイクロメーターヘッドを使用 ■コンパクト ■移動距離は50mm・100mmの2種類 ■1回転に対するシャフトの移動距離は0.5mm/2.0mm ■移動時のシャフトの回転はない ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
4種類をラインアップ！低反力・高寿命・高清浄な真空配管用成形ベローズのご紹介
『VBN/VBF/VBC/VBP』は、低反力・高寿命・高清浄と3つ揃った 真空配管用成形ベローズです。 「VBF」は真空フランジ型となっており、材質はチューブが316L SS、 フランジが304 SSです。 この他にもクランプフランジ型の「VBN」をはじめ、「VBC」、「VBP」の 4種類の成形ベローズをご用意しております。 【ラインアップ】 ■VBN クランプフランジ型 ■VBF 真空フランジ型 ■VBC コンフラットフランジ型 ■VBP パイプエンド型 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
成形ベローズ（CF規格品）
コンフラットフランジ付成形ベローズ ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304L 固定通し穴型 or 回転通し穴型
小型化、軽量化を追及！IKCの新技術を導入したゲートバルブのご紹介
『コンパクトコスラーズII』は、次世代のLSI及びLCDの製造装置にも 使用可能な高品質の角型ゲートバルブです。 IKC独自の技術により、無摺動で装置内を高度なハイクリーン状態に保ち、 シール保持時間が長く、逆圧シールに対し安定したシール性能を発揮します。 また、お客様からのご要求を反映し、イージーメンテナンスを考慮して 設計されております。 【特長】 ■パーティクルフリー ■高いレベルのシール性能 ■イージーメンテナンス ■長寿命でハイレベルな品質 ※詳しくは関連リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
『ナイフゲートバルブ』 シンプルながら頑丈、メンテナンス簡単
今日の業界のニーズに応える、シンプルながら頑丈、メンテナンスの簡単な、『ナイフゲートバルブ K-Nife』。 自動化が簡単、手動、空動、電動および油圧式アクチュエータが使用可能、多彩なアクセサリーと拡張機構を取り揃え、あらゆるニーズに対応、等の特徴があります。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
ポート口径種は、ANSI、ISO、JISのポート口径形式をご用意。特殊ポート口径にも対応。
『VRC社製ボンネットスタイル真空ゲートバルブ』は、ほぼ全ての口径種類に 対応します。 また、異なるポート口径種同士でのコンビネーションにも、異なる口径サイズ （例：片側4インチ、片側6インチポート等）同士でのコンビネーションにも対応します。 フランジ面間寸法を極力狭くした「フランジレスバルブ」製作にも対応できます。 ステンレス製と6061アルミニウム製から素材をお選び頂けます。 駆動部の取り外しに特殊工具、技術などは必要とせず、誰でも簡単に駆動部の 取り外しが可能です（取り外し所要時間：約5分）。 VRC社は、米国ペンシルバニア州ピッツバーグに本社を置く真空用設備機器の メーカー Vacuum Research Corporation です。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
真空バルブの世界標準、ＶＡＴ社のミニＵＨＶゲートバルブです。
ＶＡＴ社独自のＭＯＮOVAT機構により、ショックフリー、パーティクルフリーな動作で、高真空を保ちます。 軸シールはベローズ、ボンネットシールはメタルを使用しています。
丸菱実業株式会社のミニゲートバルブ（手動式・圧空式）[SOR用F・C・V オールメタルバルブ：VAT社]
弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Marketing Corporationとして、社会の発展に貢献したいとの意欲に燃えております
各種線源やトランスデューサなどを装着し真空中を移動させられます。
直線導入機（中空型） ZLTMシリーズはチャンバー取付けフランジとシステムフランジがベローズで接続された、中空型の直線導入機です。各種線源や、トランスデューサなどを装着し、真空中を移動させることができます。詳しくはお問い合わせください。
粉粒体機器メーカーのアイシン産業がご提案するナイフゲートバルブ
『ナイフゲートバルブ』は、過酷な粉粒体プロセスやスラリーラインでの使用が可能な製品です。 粉粒体に特化したアイシン産業がご提案するナイフゲートバルブは、軸封部への引き込みを抑制するエアパージ加工や、流量調整を向上させる開度調整用ポジショナの取り付け等、安心して長期間快適にご使用いただける形状をご提案いたします。 駆動方式は手動ハンドル式とエアアクチュエータ式があり、手動ハンドル式はSUS304製開閉二条ネジの採用で長期間に渡り錆の発生もなく円滑に使用することができます。 グランドパッキン部はPTFEスクレーパー、グランドパッキン、シリコンパッキンなどの組合せで高い密封性が得られます。 ※詳しくはカタログをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。
直線式開閉の構造によりメンテナンス及び操作性が良いゲートバルブ
ゲートバルブ「HV/UHVゲートバルブ」 は高真空及び超高真空の環境用の2種類があります。手動型及び圧空作動の操作方式でゲートを開閉。直線式開閉の構造によりメンテナンス及び操作性が良い。日揚科技は各寸法のゲートバルブを提供可能です。それらはベローズ軸シールありと無しタイプがあります。接続口はKF、ISO、ANSI、JISとCFフランジで接続可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをダウンロードしてください。
大型化するFPD基板(G11)に対応！横搬送共に無摺動を実現した角型ゲートバルブ
『Gate valve T-Motion』は、バルブサイズ(幅×高さ)の制約無く装置設計者の 思いのままに設定可能な角型ゲートバルブです。 独自のバルブモーションにより、開閉速度を落とすことなく低振動化を 実現しました。 バルブサイズを超えた部品の共通化により、低価格な製品となっております。 【特長】 ■低振動 ■低パーティクル ■低価格 ■さまざまな世代にマッチ ■大型化するFPD基板(G11)に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
