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真空配管用成形ベローズをご紹介！これできる？に親切対応、いつものあれ！に迅速対応。
当社、中日技研工業株式会社は、ステンレス製フレキシブルチューブ製造メーカーです。 当カタログは、中日技研工業株式会社が取り扱う真空配管用成形ベローズをご紹介しています。 真空用の柔軟なベローズにJIS規格の真空フランジ（VG･VF）が付いた「CEV-10000」をはじめ、 パイプエンドが付いた「CEV-30000」等、多数ラインアップを掲載。 真空配管の選定に、是非ご活用ください。 【掲載内容】 ■成形ベローズ VG-VF CEV-10000 ■成形ベローズ NW（KF）CEV-20000 ■成形ベローズ パイプエンド CEV-30000 ■成形ベローズ ICF CEV-40000 ■成形ベローズ ISO MF CEV-50000 ■成形ベローズ ISO BT CEV-60000 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい
Max180℃まで任意の温度に設定可能！メンテナンス期間を大幅に延長できます
『UXG/LGシリーズ』は、半導体真空装置の反応炉とトランスファーチャンバー 間の仕切りを行うために開発した角型のゲートバルブです。 ボディはアルミニウム製で、複動式エアーアクチュエーターにより作動。 ヒーター付き仕様は固定されたボディに内蔵している外部ヒーターによる 加熱だけでなく、可動部である弁体内部にもヒーターを持ち、外部と内部 の両方から加熱することにより、高い均熱性能を特長としています。 【特長】 ■メンテナンス期間を大幅に延長できる ■内部と外部の温度を個々に設定可能 ■バルブを開閉作動する時に、パーティクルが発生しにくい無摺動構造 ■バルブクローズを保つラッチロック機構を装備 ■ゲートのOリング材質として、フッ素ゴム・KALREZ・Chemraz等を用意 ※KITZ SCT では半導体製造での流体関連のお悩みにさまざまな提案を行っております。 詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
回転させることでフランジ間の距離を正確に調整することが可能！
当社では、『中空型 直線導入機（ベローズ型）』を取り扱っています。 本体を回転させることにより、フランジ間の距離を 正確に調整することができます。 【特長】 ■ベローズ式の直線導入機 ■本体を回転させることにより、フランジ間の距離を 正確に調整することが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
直線導入機
当社溶接ベローズを内蔵し、 ストロークを１０～２００mmまで規格化しました。 駆動部シールに溶接ベローズを採用しておりますので、 超高真空の領域で使用可能です。 機能中心に考え極めてシンプルに構成していますので、 小型、軽量になっています。 手動タイプはベーキング温度２５０℃に耐える設計にしております。
角型ゲートバルブ『 コスラーズ 』
■片面シール Normal type 『無摺動』を設計思想として開発し､ 発展させたゲートバルブです。 誕生以来その確かな性能を評価され、 現在では様々な市場､ 環境で御使用頂いております。 開口サイズ、圧力条件、高温対応、弁箱有無等々 お客様の多種多様なニーズに合わせてカスタマイズ致します。 【特長】 ・パーティクルフリー ・シンプルな構造 ・長寿命（自社ベローズ採用） ■両面シール seal 方向切替 type Normal type に更なる機能を持たせたゲートバルブです。 seal 方向をトランスファーチャンバー側へ切り替えることにより、 大気開放するプロセスチャンバー以外の真空を保持､ それによりプロセスチャンバーのメンテナンス中も 装置の稼働を継続できます。 その状態でプロセスチャンバー側の 弁板 seal 用 O-ring の交換も容易に可能です。 【特長】 ・高負荷プロセス向け ・弁体イージーメンテナンス ・長寿命（自社ベローズ採用）
ロイヤル成形ベローズ スーパー成形ベローズ
入江工研が取り扱う高性能な成形ベローズです。 ロイヤル成形ベローズは、 溶接ベローズ並みの高寿命(100万回)を実現しております。 優れた耐食性を有しており、 Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止。 650°に於いてSUS316Lの常温引張強さ、 0.2％耐力等よりも優れております。 【特長】 ■優れた耐食性を有する ■Cl2、HBrガスに対しても応力腐食割れを防止 ■高温強度を有する スーパー成形ベローズは、 従来の成形ベローズより50％以上コンパクト設計が可能です。 【特長】 ■溶接ベローズ並みの高寿命を実現（100万回） ■従来の成形ベローズよりバネ定数が1/2以下 ■従来の成形ベローズより50％以上コンパクト設計が可能
高メンテナンス性・高耐久・高シール性製品が多数。ポート口径、用途に合わせた特注OK。全製品RoHS対応。
当社では、加圧・減圧両方向に対して高いシール性を発揮する VRC社製の『真空ゲートバルブ』を取り扱っております。 各種フランジ規格（ISO、JIS、ANSI等）に対応した「ボンネットスタイル」をはじめ、安価・低アウトガスの「アルミ製タイプ」、 メンテナンスが容易なタイプなど特徴的な製品をラインアップ。 非常に低いリーク数値を誇り、RoHS指令にも対応済みです。 【製品ラインアップ(抜粋)】 ■ボンネットスタイルゲートバルブ(アルミニウム製・ステンレス製) ■エンドオペレーテッドタイプゲートバルブ ■小型ステンレス製ゲートバルブ ■長方形ポートゲートバルブ ★「PDFダウンロード」より総合カタログをご覧いただけます。
丸菱実業株式会社のUHVゲートバルブ（手動式・圧空式）[SOR用F・C・V オールメタルバルブ：VAT社]
弊社は常に時代の変化を半歩先取りし若さと汗と能力を結集させ、独創的な発想と、きめ細かいサービスとExcellent Confidence（素晴らしい自信と信頼感）を素に、Electronics Marketing Corporationとして、社会の発展に貢献したいとの意欲に燃えております
真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。
直線導入機（シャフト型） ZLDP/ZLDM/ZLDSシリーズは真空チャンバー内での直線移動に使用する直線導入機です。廉価版から高精度型まで種々取り揃えております。詳しくはお問い合わせください。
特殊ポリウレタンで耐付着性/摩耗性を大幅に向上！粉体の貯蔵設備に最適
VLスライドバルブは重力を使った製品搬送及び遮断の必要なラインにて使用されています。ホッパーやサイロの排出口、コンベアの投入排出口・伸縮投入排出口に設置できます。特別な形状のバルブ及び用途別のブレード部デザイン変更により食品業界を含めた多くの業界に適応します。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
粉体を確実にカット！手動式・エアーシリンダー式・電動式の駆動方法
粉体を確実にカットするスライドゲートです。駆動方法は手動式・エアーシリンダー式・電動式があります。標準型には、粉体噛込防止機構、完全な粉体漏れ防止機構及びスムーズな開閉作動等の特長を有しています。また、高知型は、付着性粉体（汚泥等）用として最適です。他、多彩なラインナップで様々なニーズにお応えします。詳しくはお問い合わせください。
半導体やFPDなどの製造プロセスに活躍！多様なニーズに応えるラインアップを掲載
当社は、半導体やFPDなどの製造に用いられる 『超高・高真空用バルブ』の設計・製作を手がけています。 ただいま、各種製品を収録した“総合カタログ”を進呈中です。 微細化する半導体プロセスに対応した「True L-Motion Gate Valve」をはじめ、 大型化するFPD基板に対応した「Gate valve T-Motion」や、 少ないガス流量でも圧力制御可能な「APC Penduroll Valve」など お客様のご要望に応えるラインアップを掲載しています。 【掲載内容】 ◎超高・高真空用バルブのご案内 ◎搬送ゲートバルブ ◎排気系ゲートバルブ ◎オプション ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
微細化する半導体プロセスに対応！次世代型角型ゲートバルブのご紹介
『True L-Motion Gate Valve』は、低振動の次世代型角型ゲートバルブです。 OPEN/CLOSE動作時の低振動化のほか、新機構により低発塵化を 実現しました。 オプションにより、シール材質の変更や表面処理の追加が可能です。 【特長】 ■微細化する半導体プロセスに対応 ■低振動：OPEN/CLOSE動作時の低振動化を実現 ■低パーティクル：新機構により低発塵化を実現 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
真空装置内の大気やガスの排出に最適！精密鍛造ボディのバルブです。
真空用手動&複動式バルブ『XL-FB-MN/DN SERIES』は、真空装置内の大気やガスの排気に最適です。 シートおよびボンネットシールには、フッ素ゴム（バイトン）を使用。 ステムは、ベローズシール方式を採用し、高真空領域まで使用能です。 精密鋳造のボディを使用し、加工工数の削減により低コスト化を実現。 溶接ベローズを採用することにより、長寿命化が図れます。 【特徴】 ○真空装置内の大気やガスの排気に最適 ○ボディはSCS13、要部材料はSUS ○ハンドル､ボンネット及びシリンダーは AL材を使用 ○磁気近接スイッチを取付可能(復動式DNシリーズ) ○高真空領域まで使用可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
ロストワックス鋳造
使用圧力：200PSI 呼び径：1／2"～2"(DN15～DN50) 接続規格：DIN259、BSPT、NPT ハンドル式 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お問い合わせください
価格面、品質は勿論の事、特に納期面でも満足して頂ける台湾バルブ
台湾製品ゲートバルブはフロー制御の必要な流体を扱うシステムで広く使用されており、典型的なゲートバルブはフルオープンまたはフルクローズで使用するように設計されています。フルオープンの状態では、典型的なゲートバルブでは流路に障害となるものがないため摩擦損失が非常に小さくなります。
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価格面、品質は勿論の事、特に納期面でも満足して頂ける台湾バルブ
台湾製の鍛鋼製ゲートバルブには3種類のボンネット型があります。まず1つ目は、ボルテッドボンネット型で、オスxメスジョイント、うず巻型ガスケット、F304/グラファイト製が用いられています。ご希望によってリングジョイントガスケットも使用できます。2つ目は、溶接ボンネット型で、ねじ込み式漏れ止め溶接ジョイントが用いられています。ご希望によって完全溶け込み溶接ジョイントも使用できます。3つ目は、プレッシャーシールボンネット型で、ねじ込み式プレッシャーシールボンネットジョイントが用いられています。
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台湾製の鍛鋼製ゲートバルブには3種類のボンネット型があります。まず1つ目は、ボルテッドボンネット型で、オスxメスジョイント、うず巻型ガスケット、F304/グラファイト製が用いられています。ご希望によってリングジョイントガスケットも使用できます。2つ目は、溶接ボンネット型で、ねじ込み式漏れ止め溶接ジョイントが用いられています。ご希望によって完全溶け込み溶接ジョイントも使用できます。3つ目は、プレッシャーシールボンネット型で、ねじ込み式プレッシャーシールボンネットジョイントが用いられています。
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