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熱式流量センサ制御方式を採用した、流量制御機器です。
更なるトータルコストダウンとリードタイムの短縮を実現した デジタルインターフェース搭載、マスフローコントローラー 【特徴】 ○高精度 流量精度±1％を実現 ○高性能センサ 低温度流量センサの採用で、反応性の高いガス及び 安定性の低いガスに最適構造を実現 ○高信頼性ダイヤフラムバルブで少ない接ガス面積・パーティクル発生の防止 高速応答ピエゾアクチュエータを採用 デットスペースフリー構造によるガス置換特性の大幅向上 パーティクル発生 極少 ○デジタルインターフェース標準装備 RS485 ○RoHS対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
ガス流体を高精度コントロール！ガス種を選ばず、装置ユニットの自由度が高まる！
『超小型 FCS-P』は、小型かつ軽量で、流量精度が既存モデルより向上した フローコントロールシステムです。 取り付け姿勢の影響を受けず、流量自己診断機能を搭載。 フローファクター（流量変換係数）の採用により、N2校正のFCSで様々な ガス種に対応します。 【特長】 ■小型かつ軽量 ■流量精度が既存モデルより向上 ■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けない ■応答時間が0.5秒以下 ■取り付け姿勢の影響を受けない ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ワイドレンジの液体用フローコントローラ/フローメータならビュルケルト
ビュルケルトの液体用フローコントローラは、 「次機種ではもっと流量を出したい」 「水以外の腐食性がある流体も流せるフローコントローラが欲しい」 などのご要望に対応可能。 過酸化水素水のアプリケーションで培った経験を元に作られた ビュルケルト独自の液体フローコントローラです。 【ビュルケルトの液体用フローコントローラの特長】 ■大流量：～600ml/min (水換算) を１台で制御可能 ■流体仕様：アンモニアやメタノール、過酸化水素水といった腐食性流体にも対応 ■圧力仕様：～0.6MPaまで対応 ■応答速度：～500msec ■タイトシャット可能：別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ■逆止弁の別途設置が不要：内部の調節弁に逆止機能あり 【デジタル通信対応】 EtherNet/IP、EtherCAT、Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応 ※詳細はお問い合わせいただくか、PDFダウンロードからご覧ください。
高精度、安定、低脈動の流体制御を実現
空圧式ポンプ マイクロ流体フローコントローラーOB1 MK3+はマイクロ流体チップなどに液体やガスを送液するための圧力ポンプです。 最大4チャネルの流路に-900mbarから8barの圧力送液制御を行うことができます。 OB1 MK3+はピエゾ式圧力制御や付属ソフトウェアのPIDアルゴリズムにより、他社のコントローラーよりもより速く、より安定した送液制御を提供することができます。 さらにフローセンサーまたは圧力センサーを併用することでをより精度が高い制御が可能になります。 その他、異なる複数の溶液を順次送液するためのディストリビューションバルブなどをシステムに取り込むことで、マイクロ流体チップを使用した研究、開発のアプリケーションの幅が広がります。
ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！0.5CCMから10LPMまでラインアップをご用意
『LC/LCRシリーズ』は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による100msの応答速度で指定流量へすばやく制御できる液体用フローコントローラーです。 希望流量を短時間で得られます。 流量設定はフロントスイッチにより簡単操作。アナログ入力､通信による設定も可能。 液晶表示器を標準搭載。すばやい応答速度によりリアルタイムに流量を確認。 外部出力として0～5VDC出力およびRS-232C通信を標準搭載。 NISTトレーサブル検査成績証が標準で付属。 【対応液体】 純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン ※これらの他にも対応できる場合もございます。 【特長】 ■20msの高速応答／100msの制御応答 ■±2％F.S.の流量精度 ■0.5CCMから10LPMまで ■表示器はバックライト付き液晶 ■アナログ出力、 RS-232C通信を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
全ての薬液、高純度のアプリケーションの流体制御に、最適に設計されております。
Malema社製のフローコントローラーは、高純度薬液用に接液部をオールテフロン製で、制御・モニター製品をはじめ各種半導体製造装置の標準部品として世界各国で使用されています。 また、今まで流量のモニター、制御が難しかった発泡性薬液、CMP用スラリーなどの薬液の制御に特化したコリオリ式のフローコントローラーも取り揃えております。
流量を自動調整！乾燥空気・N2・Ar・CO2の流体に適応する製品
『PFCA7 Series』は、瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で 確認できる空気用フローコントローラです。 プロセスデータにより、流量値・機器状態を容易に把握でき、 流量制御も可能。 また、カラー表示で視認性も良好。2画面表示により、人目で 状態確認ができます。 【特長】 ■レンジアビリティ 100：1 ■カラー表示・2画面表示対応 ■IO-Linkに対応 ■省スペース/配管/配線/導入工数 ■カラー表示・2画面表示対応 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
動作状態、エラー発生の確認可能！幅広い動作差圧範囲を実現
『PFCQ Series』は、リニアモータを内蔵し、リニアモータに 取付けられた弁体を移動することによって流れる流量を調整する 空気用フローコントローラです。 製品に流量指令信号が入力されると、内蔵の演算回路において流量センサで 計測した流量と比較演算され、その値に基づいてリニアモータを駆動し、 流量制御します。 電源がOFFのときは、リニアモータの永久磁石の吸引力で、バルブを 閉じます(ノーマルクローズ)。 【特長】 ■流量制御範囲：9～300L/min ■動作差圧範囲：0.05～0.5MPa ■設定流量への到達時間：0.5秒以下(動作差圧0.3MPa、流量設定300L/min時) ■制御精度：±3％F.S. ■ノングリース ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
既存設備への後付けで複数メーカーPLC混在でも即座に可視化
■設備を止めずに導入 データフローコントローラをEthernetケーブルで接続するだけで既存設備の再配線をすることなく、後付け可能です。 他社PLCを使用していても機器や制御プログラムの変更が不要で、設備を稼働したままデータ収集を開始することができます。 ■誰でもすぐにデータ活用をスタート プログラムレスでデータフローを作成。指定機器をつなぎ、必要最小限の設定をするだけでデータを自動取得し可視化することができるパッケージもご用意しています。 ■ノーコードのフローエディタ設計 データ収集活用ツールのSpeeDBee Synapseと、グラフ表示ツールはWebブラウザ上で使用でき、いつどこからでも表示・設定することができます。 SpeeDBee Synapseでは処理ブロック(コンポーネント)を線でつなぐだけで直感的に作成できるので、プログラムに不慣れな方でも簡単にデータフローを作成できます。
