更新日： 集計期間:2025年08月13日～2025年09月09日
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マスフローコントローラのバルブ詰りなどのトラブル事例を掲載！
『マスフローコントローラ トラブル事例集』は、マスフローコントローラに関する 様々なトラブルの事象、原因、対応等の事例を掲載した事例集です。 【掲載事例】 ■マスフローコントローラのバルブ詰り ■マスフローへのオイル混入 ■マスフローのバルブ不具合 ■マスフローコントローラ 流量が出ない ■マスフローが流れにくい ほか 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
N2、Air、H2等が対象！メタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータのご紹介
『MODEL EX-550 SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種切替が 可能なメタルシールデジタルマスフローコントローラ/メータです。 S.P.精度で高精度な計測ができ、全流量制御範囲は応答1sec以内。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/ 24VDCを選択いただけます。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：10SCCM～5SLM ■精度：±1％S.P.（25～100％F.S.）、±0.25％F.S.（～25％F.S.） ■S.P.精度で高精度な計測が可能 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
混合ガスにも対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載しています
『MCS/MCRSシリーズ』は、腐食性ガス／冷媒ガスを含め1台で128種類のガス流量の計測が可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから3000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 混合ガスにも対応！
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
RS485通信機能あり！コンパクト設計のデジタルマスフローコントローラ/メータ
『MODEL EX-250S SERIES』は、ロータリースイッチによるガス種の切替が できる小型デジタルマスフローコントローラ/メータです。 RS485通信機能を有し、アナログ入出力0-5VDC/4-20mAや電源±15VDC/24VDCを 選択可能。全流量制御範囲は応答1sec以内となっております。 ご用命の際は、当社までお気軽にご相談ください。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 5SCCM～10SLM ■精度：±1％F.S. ■コンパクト設計 ■ロータリースイッチによるガス種切替可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！ N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。
当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を有し、 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（MODEL 8700 SERIES） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
混合ガスにも対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載しています。現在納期4週間。
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCS／MCRSシリーズ」や「MCW/MCRWシリーズ」「MCV/MCVSシリーズ」 などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。現在納期約4週間。
『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ポンプシステム 事例2】超臨界ガス計測と制御
超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
0.3秒以内の高速応答！設定流量の変更が多い装置に！圧力レンジも広範囲に対応(0.01～1.0MPa)
産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●高圧対応 → ～1.0 MPa ●最低必要差圧 → 10kPaでＯＫ ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でＯＫ ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET
装置や工程のスループット増加に貢献する、大流量、高圧マスフローコントローラ(MFC)
大流量、高圧仕様のマスフローコントローラはビュルケルト！ 業界内にあるマスフローコントローラはある程度、仕様が固まっているものが多いなか、お客様においては、「もっと流量を出したい」、「減圧せずに流したい」、などのさまざまご要望があることを、近年の活動で知り得ました。 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●大流量 → ～2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●高圧仕様 → ～1.0MPaまで対応 また ●低差圧仕様 → 5KPaから対応 ●タイトシャット可能 → 別置き電磁弁の費用とスペースを削減 ●応答速度 → 300msec～ ●暖機運転 → 1min 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT、EtherNet/IP、 Modbus/TCP、 PROFINETなど各種通信に対応
国内防爆認証(JPEx)を正式取得！厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール！
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、 『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、 プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、 国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆（MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X）を正式に取得したことで、 Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
ダイヤフラム式バルブ採用のメタルシールMFC！EP処理及び酸化被膜処理により腐蝕性流体に対応
『MODEL ST-500 SERIES』は、PI機能(Pressure Insensitive 圧力鈍感性)を 備えたマスフローコントローラです。 流量センサ前段に圧力センサを搭載しており、そこで捉えた圧力変動を 変動前の圧力と比較しリアルタイムでバルブ開度に補正をかけることで、 圧力変動に対して安定した流量制御を行うことが可能。 半導体製造装置など、安定性や正確性が必要となるガス供給プロセスに 適しております。 【特長】 ■圧力変動に対し安定した流量制御が可能(ST-500のみ) ■DeviceNet、EtherCAT、RS485(ST-550のみ)通信対応 ■IGS Wシール継手対応 ■S.P.精度で高精度な計測制御が可能、全流量制御範囲 応答1sec以内 ■専用アプリによるマルチレンジ機能(30～100％F.S.) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
優れた価格性能比！納期が8週間という非常に魅力的な製品です
『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です！半導体・分析機器・医療機器用
『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
