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様々な評価・解析用途に幅広く対応！温度特性評価や、高電圧デバイスの評価にもご使用になれます
『705C／MP-10C』は、エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に 操作できるマニュアルプローバです。 3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載。 コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止します。 また、短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します。 【特長】 ■エアベアリングステージ採用により、片手で簡単操作できる ■3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載 ■コンタクト時の操作ミスによるデバイスやプローブの損傷を防止 ■パワーデバイスの沿面放電対策にも対応 ■短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
ホットチャックを用いた温度依存特性評価ができる！測定効率が向上します
『708fT』は、ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定が 可能な、8インチ微小電流測定用のマニュアルプローバです。 ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現。 エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作ができます。 また、3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載しており、 コンタクト時の操作ミスによるデバイスとプローブの損傷を防止します。 【特長】 ■ガードとシールドの三重構造により、fAレベルの微小電流測定ができる ■ガード構造の徹底で、低雑音・高精度測定を実現 ■簡易操作 ■安全設計 ■カスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
特殊タイプ 電動マニュアルプローバ MP-200B
ズーム顕微鏡を搭載！ 15インチ液晶カラーモニターを標準装備とした作業性重視のプローバ 【特徴】 ○作業距離が長く、作業効率が向上 ○ズームレンズ採用で位置ズレが無く観察しやすい ○電動Ｚステージを搭載 顕微鏡およびポジショナーを最大140ｍｍ退避させるため ワークの脱着が容易 ○再現性を考慮した微動位置決め構造 ○両手作業が可能 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
１２インチマニュアルプローバー
12インチ対応のマニュアルプローバーです。 チャックを変える事により最大320×320の液晶基板対応 可能です。 オプションにてホットチャック搭載可能です。
わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を使った時でも操作性が向上
「Model6200」は、プリント基板上のデバイスを直接プロービングするためのマニュアルプローバーです。 プローブベースプレートと顕微鏡をZ軸上方向に押しボタンのみで退避させるため、わずかなデバイスの位置ずれを防ぎ、高倍率顕微鏡を使った時でも操作性が向上しております。 そのため、部品と配線の多い大型試作配線基板でもチャッキングする事が可能となっております。 【標準構成例】 ○マニュアルプローバー：Model6200 ○顕微鏡：FS-70Z ○防振台：TAPC-56 ○マイクロマニュピレーター：XYZ-500 ○X-Yスキャナー：5010B 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです
チップサイズから8インチウェハまで対応したVectorスタンダードモデルです。高低温DC測定・高周波測定・高速IV／パルスIV測定などさまざまな測定ソリューションの構築が可能です。
最大4インチまでのウェハに対応
最大4インチまでのウェハに対応 高温チャック搭載 パワーデバイス評価にも対応可能
汎用性の高い150mm(6インチ)マニュアル・プローバー
デバイス評価、モデリング、WLR、故障解析、IC設計、MEMSなど幅広いアプリケーションに対応しております。
広範囲なコンタクトエリア！短時間でステージの位置合わせが可能で、測定効率が向上します
『705A-WG7』は、大型ステージの搭載により、12インチウェーハ、 FPD基板の不良解析やTEG評価に対応できる評価・解析用マニュアルプローバです。 スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保。 また、エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能です。 さらに各種顕微鏡、レーザーカッターシステムの搭載など、使用目的に 合わせたカスタマイズが可能です。 【特長】 ■大型基板対応 ■12インチウェーハ、FPD基板の不良解析やTEG評価に対応 ■スライドテーブルの採用により、広範囲なプロービングエリアを確保 ■エアベアリングステージ採用により、片手で簡単に操作可能 ■3段切り替えレバーによるセーフティロック機構を搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
8インチ対応 マニュアルプローバ MP-200A
X-Yステージを搭載した 8インチ対応のマニュアルプローバ 【特徴】 ○X-Yステージを搭載 操作パネル上で早送りやジョグ送り等の簡単な遠隔操作が可能 ○測定ポイントまで素早く移動でき、操作性に優れる ○低価格、高精度、短納期を第一に考えた ユーザーニーズにマッチしたプローバ ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
快適な操作性にこだわったマニュアルプローバー！光学系は3種から選択可能！
『αシリーズ』は、快適な操作性で評価・解析の幅広いニーズに対応する マニュアルプローバーです。 ステージや光学系は複数の種類から選択可能。 前明きの形でウエハーのロード・アンロードも容易に行えます。 レバーの操作で3段アクションのZドライブが可能。 位置合わせはウエハーから約300μm針を離して行うため、 顕微鏡の焦点からはずれずにステージが移動できます。 【特長】 ■選べるステージ/光学系 ■Zは3段階切り替え ■ステージ移動が簡単 ■確実なアライメント ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
OYM-401は実体顕微鏡に対応したマニュアルプローバです。複数台のポジショナを搭載し、容易にプロービングが行えます。
ＯＹＭ−４０１は使いやすさを最優先した操作部がシンプルなベーシックモデルです。 【特長】 ◆ＩＣのパッドを対象にしたプロービングに適した、実体顕微鏡をセットアップ したモデル ◆標準で８インチストロークのＸ−Ｙステージを装備 ◆オプションとしてプローブカードホルダ、ホットチャックといった各装備の 設置が可能 ※詳細は『資料請求』まで
マニュアルプローバー
信頼性試験やデバイス特性評価用に最適な 8インチ対応のマニュアルプローバーです。 その他、6インチ、12インチ対応のマニュアルプローバーもラインナップしております。
小型軽量！実体顕微鏡標準スタンドが使用できるマニュアルプローバ
『LP-1』は、位置合わせが迅速に行える1インチタイプの マニュアルプローバです。 オプションにより、実体顕微鏡、トライアキシャルチャック、 ホットチャックも装着することができます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■1インチサイズウエハープロービング ■位置合わせが迅速に行える ■針圧のオーバードラブ量の設定ができる ■大きさ、重さともコンパクトなため装置の移動が簡単 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
