更新日： 集計期間:2025年03月26日～2025年04月22日
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ハードプロセス向け！ウェハー・FPD基板の大型に対応する大排気量ポンプ
『SDLシリーズ』は、半導体や液晶の製造分野などの幅広い分野で 高い信頼を得ている樫山工業のドライ真空ポンプです。 ウエハー、FPDの大型化に対応します。 組合せにより大排気量化が可能で、15万L/min以上のご要望にもお応え。 さらに、大気側排気速度の確保による、大型ロードロックチャンバーの 高速排気によりタクトタイムを短縮します。 溶剤排気仕様もありますのでお問い合わせ下さい。 【特長】 ■ハードプロセス向け ■ウエハー、FPDの大型化に対応 ■タクトタイムの短縮 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
オリオン機械/真空ポンプ。パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、 ブロワ・ブロワ等の各種組合せ。
■パッケージシリーズ化による品揃えを充実。真空・ブロワ、真空・真空、ブロワ・ブロワ等の各種組合せにより、19機種を取り揃えました。 ■低運転音を実現。当社従来比3～5dB低減しました。 ■実績ある標準型ポンプを搭載し、メンテナンス性が向上しました。
ベッカーエアーテクノ社が取扱うロータリーベーン式ドライポンプの総合カタログです。
完全ドライ・オイルフリーの真空・ブロワー・コンビネーションの各種ドライポンプを多数掲載しています。 【掲載製品】 ○ドライ真空ポンプ KVT3シリーズ ○ドライ真空ポンプ VT4シリーズ ○ドライ真空ポンプ VTLFシリーズ ○ドライブロワーポンプ DT4シリーズ ○ドライブロワーポンプ KDT3シリーズ ○ドライブロワーポンプ DTLFシリーズ ○ドライコンビネーションポンプ T4シリーズ ○ドライコンビネーションポンプ DVT3シリーズ ほか ◆◆カタログご希望の方は資料請求よりお問合わせ下さい◆◆ ?ダウンロードから一部ラインナップがご覧いただます?
オリオン機械/真空ポンプ。新開発高効率ロータを使用(非接触・ブレードレス)、先進性能を搭載したベーシックモデル。
■先進性能を搭載したベーシックモデル。 新開発高効率ロータ(非接触)を使用しているため、省エネルギーで真空を実現。もちろんオイルフリー。また、非接触による音質改善と静音性を達成。耳障りとなる低周波領域(主に300Hz以下)を大幅に低減しました。 ■新開発の高効率ロータ(非接触)は、デジタル解析技術により最適なロータ曲線を実現。 真空ポンプは特定の空間から空気をかき出して(移送して)真空を作ります。新開発の高効率ロータ構造は、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく、また、ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに大幅なメンテナンス性向上が図られています。 ■高効率ツインロータにより少ない動力で大流量を実現。 非接触のオイルフリーポンプは余計な動力を必要としません。ベーン方式を圧倒する排気効率を実現。同じ動力で1.7倍の流量を発生します。 ■オーバーホールサイクルが格段に延長。 消耗品は摺動部のシール類のみとなり、ロングライフを実現しました。 ■PTFEシールの採用でドライ摺動を実現。 シール部の最適設計により、ポンプ室へのオイル侵入を遮断。
豊富な実績に裏打ちされた直結ポンプのスタンダード
排気速度50～1300（60～1500）L/minまで7機種のラインナップがあり、お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。（60Hz）
お客様の用途・環境に合った最適な機器の選択が可能です。
すべてにグレードアップした新世代の直結 ”ニュー・ディグニティー（高品位）Λ（ラムダ）シリーズ
オリオン機械/真空ポンプ。ベーシックモデルをインバータ制御し、更なる省エネを実現させたインバータモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■界初のインバータ搭載パッケージ型真空ポンプ。 真空利用の負荷状況に応じてポンプ回転数をインバータで制御。最大84％の省エネを可能にしました。真空ポンプの省エネ化・長寿命化・静音化に貢献します。 ■インバータ制御により最大84％の省エネが可能。 真空ポンプの負荷状態を自動認識。インバータ制御により同じ真空度でも大幅な省エネを実現。 ■非接触ロータと2重パッケージ構造で更に静音。 環境改善となる低運転音。非接触ロータとの相乗効果で60Hz運転でも65dBを達成しました。 ■インテリジェント液晶パネルで簡単操作。 運転状況の把握や各種設定を液晶パネルで確認・操作できます。 ■スマート設計で設置性向上。 面壁付けが可能、もちろん上方排気設計。背面と側面の2面を壁付けできます。
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DCは、同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。省エネルギー対応で、到達圧力時消費電力400W。小型・軽量を実現し、設置面積は0.11m2（230×450mm）、重量は60kgです。冷却水量・バージガス量の削減で省ユーティリティです。国際規格適合で、用途に応じた製品仕様をご用意しております。ER100Dは、軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適、ER100DCは、耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応しています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
オイルフリー真空ポンプ！！ モーター一体又は直結の軽量コンパクト設計！完全ドライ、オイルフリー、メンテナンスフリーで静音（低運転
創業130年 ドライポンプの老舗 Becker ベッカー ベッカーエアーテクノ（株）はドイツBecker GmbHの日本法人です。 真空ポンプ、コンプレッサー、ブロワーの大手専門メーカーとして、日本国内に4拠点（東京・大阪・つくば・広島）日本お客様のきめ細かなのニーズにお答えする販売・サービス・サポート体制でこれからもBeckerの誇る高品質な製品をお届けしてまいります。
オリオン機械/真空ポンプ。業界初のモジュールデザインを採用。省エネ性能が更に進化した高真空・大流量モジュールマルチモデル。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0～100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。
オリオン機械/真空ポンプ。真空度100kPa対応。制御盤・インバータをワンパッケージ化したモータ出力5.5kW仕様。受注生産品。
■新開発非接触高効率ロータを搭載。 新開発高効率ロータ(非接触・ブレードレス)を使用しているため、シリンダと非接触でエネルギーロスが少なく省エネ。ポンプ内部でオイルを使わない為、クリーンエアーで経済的。さらに非接触のため長寿命で、大幅なメンテナンス性向上が図られています。音質改善と静音性も達成しています。 ■真空度100kPa連続運転が可能。 高効率ロータを搭載した同軸2段引ポンプにより、真空度100kPaでの連続運転を実現しました。負荷が変動しても設定真空度を高精度に維持します。 ■真空度をフルレンジで設定可能。 0～100kPaの広範囲で使用でき、真空度に節約がありません(タッチパネルの設定値は5から101kPa)。エアーをリークさせることなく1kPa単位で設定が可能です。 ■従来比最大 80% の省エネが可能。 過圧縮防止の排気構造と2段引ポンプにより、開放に近い真空度から到達真空度まで、どこのポイントで使用しても最適な電力で運転。電気代を削減します。 ■低真空から高真空までカバーする省エネポンプ構造。 フルレンジの真空度(開放⇔到達)で最適な電力で運転。過圧縮防止の排気構造。
油回転真空ポンプは、大気圧まで圧縮できる機械的ポンプの中で最も経済性・操作性に優れたポンプであり、 幅広い用途に対応しています。
【特徴】 ○揺動ピストン形を採用しており、耐久性に優れ、 構造上、吸入空間を 大きく取る事ができ、効率的排気が可能で、大型ポンプに最適な構造 ○低真空領域での連続運転や、大気圧と真空を短時間で繰返す、というような 過酷な運転条件でも、適切な油供給を行う機構を付属することにより、 長く安心して使用できる ○精密かつ堅牢な設計で、かつメンテナンスしやすい構造 ※適切なメンテナンスをして頂くことにより、 20年、30年といった長期間 ご使用いただいている例もあります。 ●詳細については、お問い合わせ下さい。
低速運転により軸受・軸シール・タイミングギヤ等を長寿命化。高信頼性で分解・組立も容易
当社では、独自のスクリュー形状（Queen Bee Screw）により 驚くべき低速（3600min-1／60Hz、3000min-1／50Hz）を実現した 『ドライ真空ポンプ』を設計・製造・販売しています。 化学・医薬、自動車・電子部品、半導体・液晶など幅広い分野で活躍。 各種ラインアップから用途に応じた製品をお選びいただけます。 【特長】 ■低速運転で軸受等の長寿命化のほか、低騒音化・低振動化を実現 ■凝縮液やダストがポンプ内部に滞留すること無く、スムーズに排気可能 ■シンプルな構造で分解・組立が容易 ■優れた到達圧力が得られ、広範な圧力領域で連続運転可能 ■接ガス部は特殊コーティングにより優れた耐食性を発揮 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
接ガス部フッ素樹脂ライニング施工！ハロゲン系ガスや強酸性ガスの吸入に好適
『ルーツ式ドライ真空ポンプ』は、接ガス部にフッ素樹脂ライニングを 施工している製品です。 フッ素樹脂ライニング厚さは300μm以上で、ハロゲン系ガスや強酸性 ガスに対する耐久性があります。 精密仕上げ加工により、厚膜ライニングと極小クリアランスを実現。 半導体、製薬、化学、高機能材等の用途でご活用いただけます。 【特長】 ■接ガス部フッ素樹脂ライニング施工 ■フッ素樹脂ライニング300μm以上 ■ハロゲン系ガス、強酸性ガスの吸入に好適 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
